馈入结构、上电极组件以及物理气相沉积腔室和设备的利记博彩app

技术特征：

技术总结
本公开提供了一种馈入结构、上电极组件以及物理气相沉积腔室和设备。射频功率经馈入结构的引入杆中心馈入，并由多个分配杆均匀分配到靶材。

技术研发人员：邓玉春;张超;陈鹏;邱国庆;赵梦欣
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2017.06.29
技术公布日：2017.08.25