技术特征:
技术总结
本发明提出了三氧化二铝薄膜及其制备方法,该三氧化二铝薄膜包括:(1)配置前驱体溶液,其中,该前驱体溶液包括α‑Al2O3水溶胶、助剂和去离子水;(2)提供干净的基板,并将基板放入前驱体溶液中进行沉积处理;以及(3)将表面沉积有前驱体溶液的基板进行烧结处理,以便获得镀有三氧化二铝薄膜的基板。本发明所提出的制备方法,获得的三氧化二铝薄膜的结晶度高、致密性好,且由于采用了液相化学沉积法,该制备方法具有成本低、设备简单、操作简便、镀膜效率更高的优点,相比于传统有的气相沉积法,该方法的工艺流程简单,还无需高昂的真空维持系统与气路控制系统,因此具有大规模产业化生产的潜力。
技术研发人员:王慷慨;熊玉明
受保护的技术使用者:美的集团股份有限公司
技术研发日:2017.04.24
技术公布日:2017.09.05