1.一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散装置，包括侧壁(1)、托盘(2)、弹珠夹层(3)、振动系统(4)、弹簧(5)和底座(6)，其特征在于所述托盘(2)上表面呈微锯齿型，所述弹珠夹层(3)安装于托盘(2)和振动系统(4)之间。
2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散装置，所述侧壁(1)比托盘(2)高出10～15cm。
3.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散装置，所述托盘(2)为方形或圆形。
4.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散装置，所述托盘(2)上表面的微锯齿高0.5～1.5mm，分布密度20～40个/cm3。
5.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散装置，所述弹珠夹层(3)高3～6cm。
6.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散装置，所述弹珠夹层(3)的弹珠直径0.5～2cm，分布密度25～400个/dm3。
7.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散装置，所述振动系统(4)含有两部振动电机。
8.根据权利要求7所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散装置，所述两部振动电机相对托盘(2)呈中心对称排布。