一种用在连续镀膜生产线上的定位传感器机构的利记博彩app

本实用新型属于真空镀膜连续生产线位置传感器技术领域，具体涉及一种适于长时间工作，结构简单，性能可靠，维护方便的用在连续镀膜生产线上的定位传感器机构。

背景技术：

在真空镀膜连续生产线工作时，由于真空镀膜是将真空室内材料的原子从加热源离析出来，溅射到被镀物体的表面，所以必须要知道装载工件的托盘（或架车）在封闭的真空室中具体所处的位置，这样才能够根据运行的情况，相应地进行各种工艺步骤的实施。而装载工件的托盘在真空室内，即看不见也摸不着，为了确定托盘的位置，就需要设置行程开关、光电开关等传感器；因为真空镀膜生产线都是连续运转的，连续工作的过程中托盘与传感器的接触要重复很多次，所以传感器的可靠性是保证真空镀膜连续生产线稳定生产的一项重要指标。传感器不仅能够在良好的环境下可靠工作，而且在干扰较多的恶劣环境下也要能够可靠地传递信号。

现有的真空镀膜连续生产线大多使用光电开关，但是在真空环境中，由于时常发生诸如工件镀膜掉落等不可预见的情况，使得光电开关经常受到干扰，导致发出错误的信号，扰乱工艺步骤的正常实施，影响产品质量，使用不可靠。故有必要对现有连续镀膜生产线上的定位传感器予以改进。

技术实现要素：

本实用新型就是针对上述问题，提供一种适于长时间工作，结构简单，性能可靠，维护方便的用在连续镀膜生产线上的定位传感器机构。

本实用新型所采用的技术方案是：该用在连续镀膜生产线上的定位传感器机构包括拨杆，活动电极，固定电极和支撑座，其技术要点是：所述支撑座为中空的圆筒形结构，所述拨杆和活动电极之间设置有连接体，连接体通过回转销轴设置在支撑座上部，设置在连接体上部的拨杆伸出到支撑座外部，设置在连接体下部的活动电极伸入到支撑座内部；连接体与支撑座内壁之间设置有复位弹簧，复位弹簧沿待加工工件的移动方向布置；所述固定电极设置在活动电极的下部，固定电极的顶部设置有凹槽，凹槽形状与活动电极的形状相匹配，凹槽的内壁环绕在活动电极的外侧，并且凹槽内壁与活动电极外壁之间留有间隙；固定电极的外侧设置有绝缘套，绝缘套伸出到支撑座外部的一端设置有固定座，固定座套接在绝缘套外侧，固定座的一端与支撑座底部相连，固定座的另一端设置有锁紧螺母，锁紧螺母与伸出到固定座外的绝缘套之间设置有锁紧环。

所述设置在连接体上部的拨杆为长条柱形结构，拨杆的顶部为半球形。以实现拨杆与上方运动的托盘的连续接触。

所述设置在连接体下部的活动电极为长条柱形结构，活动电极的底部为半球形。以确保活动电极受力倾斜后，与固定电极顶部设置的凹槽内壁有效接触。

所述中空的圆筒形支撑座的下部设置有连接法兰，支撑座为能够沿轴线旋转的结构。以方便支撑座与真空室底板的连接，便于复位弹簧沿待加工工件的移动方向的旋转调整。

所述固定电极外侧设置的绝缘套的材料为绝缘橡胶。

本实用新型的有益效果：由于本实用新型采用中空的圆筒形结构支撑座，拨杆和活动电极之间设置连接体，连接体通过回转销轴设置在支撑座上部，设置在连接体上部的拨杆伸出到支撑座外部，设置在连接体下部的活动电极伸入到支撑座内部，连接体与支撑座内壁之间设置复位弹簧；固定电极设置在活动电极的下部，固定电极的顶部设置凹槽；固定电极的外侧设置绝缘套，固定座套接在绝缘套下端的外侧，固定座的一端与支撑座底部相连，固定座的另一端设置锁紧螺母的结构形式，所以其设计合理，结构紧凑，占用空间合理，能够适应长时间连续工作，性能可靠，维护方便快捷。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。

图2是本实用新型在真空室内的布置示意图。

图中序号说明：1拨杆、2连接体、3活动电极、4支撑座、5连接法兰、6固定座、7锁紧螺母、8锁紧环、9绝缘套、10固定电极、11凹槽、12回转销轴、13复位弹簧、14真空室、15轴棍、16托盘、17定位传感器。

具体实施方式

根据图1～2详细说明本实用新型的具体结构。该用在连续镀膜生产线上的定位传感器机构包括拨杆1，活动电极3，固定电极10和中空的圆筒形支撑座4，其中拨杆1和活动电极3之间通过连接体2相连，连接体2通过回转销轴12设置在支撑座4上部内壁上，设置在连接体2上部的拨杆1的顶部伸出到支撑座4外部，设置在连接体2下部的活动电极3的底部伸入到支撑座4内部。上端和下端分别设置有拨杆1和活动电极3的连接体2，与圆筒形支撑座4内壁之间设置有复位弹簧13，复位弹簧13沿待加工工件的移动方向布置。固定电极10设置在支撑座4内部、活动电极3的下部，固定电极10的顶部设置有形状与活动电极3形状相匹配的凹槽11，凹槽11的内壁环绕在活动电极3的外侧，并且在不受外力作用的情况下，活动电极3外壁与凹槽11内壁之间留有一定间隙。为了实现设置在连接体2上部的拨杆1与上方运动的托盘16的连续接触，将拨杆1设计成顶部为半球形的长条柱形结构；为了确保设置在连接体2下部的活动电极3受力倾斜后，与固定电极10顶部设置的凹槽11内壁有效的接触，活动电极3设计成底部为半球形的长条柱形结构。

设置在活动电极3下部的固定电极10的外侧设置有绝缘套9，绝缘套9伸出到支撑座4下部外侧的一端设置有固定座6，固定座6套接在绝缘套9的外侧；套接在绝缘套9外侧的固定座6的一端与上部的支撑座4底部相连接，固定座6的另一端则设置有用于锁紧绝缘套9和固定电极10的锁紧螺母7，锁紧螺母7与伸出到固定座6下部以外的绝缘套9之间设置有传递锁紧力的锁紧环8。

为了便于中空的圆筒形支撑座4与真空室14的底板之间的连接，圆筒形支撑座4的下部设置有连接法兰5；为了方便复位弹簧13根据工艺要求和具体定位效果，沿待加工工件的移动方向的旋转调整，支撑座4设计成能够沿其轴线旋转的结构形式。

根据工艺要求，固定电极10外侧设置的绝缘套9的材料可以是绝缘橡胶。

使用时，将若干个本实用新型的定位传感器17，按照要求的定位精度确定相应间距，并沿待镀膜工件在真空室14内的移动方向设置在真空室14的底板上。圆筒形支撑座4通过其下部设置的连接法兰5固定在真空室14底板上、装载工件的托盘16的下方，支撑座4内设置的连接体2上部的拨杆1竖直向上延伸，拨杆1的顶部位于托盘16与转动轴棍15相接触的底面之上。活动电极3下部的固定电极10以及固定电极10外侧设置的绝缘套9，伸出到圆筒形支撑座4下部外侧的一端穿过真空室14底板上的通孔，露出到真空室14外部，以便于与控制系统相连接。套接在绝缘套9外侧的固定座6的上端伸入到真空室14底板上的通孔内，并与上部的支撑座4的底部相连接；而固定座6的另外一端则设置有锁紧螺母7，锁紧螺母7通过内螺纹与固定座6下端的外螺纹相连接；上下移动固定电极10和绝缘套9的位置，调整固定电极10顶部设置的凹槽11与活动电极3之间的距离，以达到在连续作业过程中有效传递位置信号的目的，然后旋紧锁紧螺母7，通过锁紧环8传递锁紧力，从而锁紧绝缘套9和固定电极10。将活动电极3和固定电极10分别通过信号传输线与控制系统相连。

驱动真空室14内的轴棍15，带动装载有待镀膜工件的托盘16在连续镀膜生产线上，按照定制的工艺路线相应移动。当托盘16运动到底板设置有定位传感器17的位置时，由于连接体2上部的拨杆1顶部位于托盘16与转动轴棍15相接触的底面之上，所以托盘16能够与长条柱形拨杆1的半球形顶部相接触。托盘16带动拨杆1产生倾斜，并使拨杆1下部连接的连接体2绕设置在支撑座4内壁上的回转销轴12的轴线转动，从而驱动连接体2下部连接的长条柱形活动电极3倾斜；倾斜的活动电极3的半球形底部与固定电极10顶部的凹槽11内壁相接触，导通定位传感器的电路，并向控制系统发出定位信号，控制系统确定托盘16所处的位置后，进而根据工艺流程实施下一步的工序。

当托盘16继续移动，整个托盘16都与现在所处位置上的定位传感器17连接体2上部的拨杆1脱离后，作用在该拨杆1上的外力消失；由于设置在连接体2与支撑座4内壁之间的复位弹簧13的弹力，使连接体2绕回转销轴12的轴线向竖直位置转动，从而驱动连接体2上部连接的拨杆1和下部连接的活动电极3一起旋转到初始的竖直位置，即活动电极3外壁与凹槽11内壁之间留有一定间隙，断开定位传感器的电路，停止向控制系统发出的该位置的定位信号。

轴棍15继续带动装载有待镀膜工件的托盘16向前移动，当运动到下一个设置有定位传感器17的位置时，重复上述托盘16与拨杆1顶部接触，拨杆1产生倾斜，驱动连接体2下部的活动电极3倾斜，倾斜的活动电极3与固定电极10的凹槽11内壁相接触，导通定位传感器的电路，向控制系统发出定位信号，控制系统根据工艺流程实施下一步的工序；作用在拨杆1上的外力消失，复位弹簧13驱动连接体2及其上的拨杆1和活动电极3复位到初始的竖直位置，断开定位传感器的电路等步骤，实现对连续镀膜生产线上工件位置的精确定位，确保镀膜生产的顺利可靠运行。