具有曝光、检测、清洗和干燥功能的一体机的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及生产设备技术领域，尤其涉及一种具有曝光、检测、清洗和干燥功能的一体机。
【背景技术】
[0002]在半导体元件或太阳能元件的制程中，需多次使用光刻技术将光罩板上的图案转移到加工元件上。目前，在LED芯片曝光中，光罩板在使用过程中，容易受到各种污染离子对其的污染，尤其是接触式曝光机，由于曝光时光罩板和涂覆有光刻胶的晶片之间的间距较小，导致光罩板与光刻胶接触而被污染。
[0003]而曝光后，通常采用手动更换光罩板，操作人员从曝光机的光罩载台上手动取下光罩板并转移到清洗装置和干燥装置内进行清洗、干燥。操作人员手动取放和转移光罩板，容易对其造成污染和刮伤。并且，手动操作，浪费人力，生产效率低，不能实现自动化。
[0004]另外，为了降低光罩板的使用成本，通常反复使用。当光罩板下一次使用时，为了保证光刻图案的准确性，通常需采用自动光学检测装置(英文为Automatic OpticInspect1n，简称AOI)对其外观进行检测。光罩板包括进行曝光的中心区域和非曝光的边缘区域。通常AOI检测整个光罩板的外观，当检测到光罩板的边缘区域具有缺陷时，即报废该光罩板，但是光罩板边缘区域的缺陷并不影响光刻图案的准确性，如此导致了部分光罩板的浪费。
[0005]针对上述现有曝光过程中，光罩板人工转运和AOI检测过程的不足，有必要提出一种自动转运光罩板并对光罩板曝光中心区域针对性检测，并且具有清洗和干燥光罩板功能的一体机，提高生产作业效率，降低人力成本。
【发明内容】
[0006]本实用新型为解决上述不足，提供的技术方案如下:
[0007]具有曝光、检测、清洗和干燥功能的一体机，包括光罩存储区、曝光-检测单元、光罩暂存区、清洗-干燥单元，其特征在于:所述曝光-检测单元包括曝光机和检测光罩板外观的检测装置，所述检测装置位于曝光机的承载所述光罩板的光罩载台侧边；所述光罩存储区、曝光机、光罩暂存区、清洗-干燥单元依次通过传输件连接，实现光罩板的自动循环使用。
[0008]进一步地，所述光罩存储区和光罩暂存区包括多个存放光罩板的存放格，并且所述光罩储存区和光罩暂存区的存放格至少一侧面开口相对。
[0009]进一步地，所述检测装置为自动光学检测装置，所述自动光学检测装置包括可移动的电荷親合元件(英文为Charge Coupled Device，简称CCD)及与所述电荷親合元件连接的控制系统。
[0010]进一步地，所述曝光机的承载晶片用的晶片载台为升降式晶片载台。
[0011]进一步地，所述一体机还包括用于记录光罩板位置信息的扫码机。
[0012]进一步地，所述光罩暂存区包括存放待清洗光罩板的第一光罩暂存区。
[0013]进一步地，所述光罩暂存区包括存放待清洗光罩板的第一光罩暂存区及存放干燥后光罩板的第二光罩暂存区。
[0014]进一步地，所述清洗-干燥单元包括清洗装置和干燥装置。
[0015]进一步地，所述传输件为机械手。
[0016]本实用新型至少具有以下有益效果:
[0017](I)将曝光机、AO1、清洗装置和干燥装置组合形成一体机，减少了机台的占地面积；
[0018](2)使用传输件在曝光机、AO1、清洗装置和干燥装置中间转运光罩板，降低了人力消耗，实现了一体机的自动化；
[0019](3)AOI仅对光罩板曝光的中心区域进行检测，降低了仅在外缘区域具有缺陷的光罩板的报废率；
[0020](4)使用扫码机记录光罩存储区中光罩板的位置，提高了一体机的自动化程度。
【附图说明】
[0021]附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。此外，附图数据是描述概要，不是按比例绘制。
[0022]图1为本实用新型之实施例1之侧视结构示意图。
[0023]图2为本实用新型之实施例1之俯视结构示意图。
[0024]图3为本实用新型之实施例1中曝光-检测单元部分结构侧视图。
[0025]图4为本实用新型之实施例2之俯视结构示意图。
[0026]图5为本实用新型之实施例3之俯视结构示意图。
[0027]附图标注:1:光罩存储区；11:存放格；12:光罩板；2:曝光-检测单兀；21:光罩载台；22:晶片；23:晶片载台；24:AOI检测装置；241:CCD ；242:控制系统；3:光罩暂存区；31:第一光罩暂存区；32:第二光罩暂存区；4:清洗-干燥单元；41:清洗装置；42:干燥装置；5 (51、52、53、54):传输件/机械手；6:扫码机。
【具体实施方式】
[0028]实施例1
[0029]参看附图1，本实用新型将曝光机、AO1、清洗装置和干燥装置组合形成一体机，实现光罩板的使用、检测、清洗和干燥的自动化。该一体机包括光罩存储区1、曝光-检测单元
2、光罩暂存区3以及清洗-干燥单元4，并且光罩存储区1，曝光-检测单元2、光罩暂存区
3、清洗-干燥单元4依次通过传输件5连接，以实现光罩板12的自动循环使用，其中传输件5包括传输件51、52、53，分别位于光罩存储区I和曝光-检测单元2之间、曝光-检测单元2和光罩暂存区3之间、以及光罩暂存区3和清洗-干燥单元4之间，本实施例优选传输件5为机械手。
[0030]继续参看附图1，光罩存储区I和光罩暂存区3均由多个放置光罩板12的存放格11组成，并且光罩存储区I和光罩暂存区3的存放格11的至少一侧面开口相对，即均朝向曝光-检测单元2的方向，便于传输件51从光罩存储区I取出光罩板12并转移至曝光-检测单元2，以及便于传输件53将光罩板12从曝光-检测单元2取出并转移至光罩暂存区
3。光罩暂存区3包括存放待清洗光罩板12的第一光罩暂存区31和存放清洗干燥后光罩板12的第二光罩暂存区32，并且为了便于实际生产过程中的使用以及减小机台的占地面积，以及避免待清洗脏污光罩板对清洗干燥后的洁净光罩板的污染，将第二光罩暂存区32设置在第一光罩暂存区31的上方。清洗-干燥单元4包括清洗装置41和干燥装置42，并且清洗装置41、干燥装置42分别与第一光罩暂存区31、第二光罩暂存区32对应设置，即将干燥装置42设置在清洗装置41的上方，但其放置位置并不局限于此。干燥装置42通过烘干的方式干燥光罩板12，但其干燥方式并不限于烘干，其他任何可干燥光罩板12的方式均包含在内。
[0031]请参看附图2，本实施例中，光罩存储区1，曝光-检测单元2、光罩暂存区3、清洗-干燥单