基板、掩膜板及显示装置、对位方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示领域，尤其涉及一种基板、掩膜板及显示装置、对位方法。
【背景技术】
[0002]现有技术中用接近式曝光机制作彩膜基板时，一般会在制作黑矩阵的过程中，形成彩膜层的对位标记。彩膜层包括红色彩膜层、绿色彩膜层和蓝色彩膜层，因而如图1所示，彩膜层的对位标记也对应包括三套，分别用于三种彩膜层的制作时的对位过程。图中的蓝对位标记I为制作蓝色彩膜层时所使用的对位标记，绿对位标记2为制作绿色彩膜层时所使用的对位标记，红对位标记3为制作红色彩膜层时所使用的对位标记。由于这三种对位标记彼此间的区别较小，因而曝光机在利用上述的某一种对位标记进行对位时，容易将其与另外两种的对位标记相混淆，这时无法对位，曝光机发出对位出错报告，无法继续工作，需要等待人工调试，而人工调试过程耗时长，影响曝光机的嫁动率。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种基板、掩膜板及显示装置、对位方法，能够降低构图设备在工作过程中发生对位出错概率，从而提高设备的嫁动率。
[0004]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0005]本发明实施例提供一种对位方法，适用于利用同一掩膜板在同一基板上形成图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层，包括:
[0006]当制作第一膜层时，将第一公用标记与第二公用标记对准完成掩膜板与基板对位，第一公用标记设置在基板上，第二公用标记设置在掩膜板上，与第一公用标记相对应；
[0007]当制作第二膜层时，先将第一公用标记与第二公用标记对准，然后利用构图设备的偏差补正功能实现第二膜层与第一膜层的图形偏差，完成掩膜板与基板对位。
[0008]优选地，将第一公用标记与第二公用标记对准的过程还包括:利用设置在基板上的指引标记寻找第一公用标记，指引标记用于指示第一公用标记的所在位置。
[0009]可选地，第一膜层和第二膜层的图形通过光刻方法制成，构图设备为曝光机。
[0010]本发明实施例还提供一种上述任一项的对位方法中使用的基板，基板上设置有第一公用标记，第一公用标记用于在使用同一掩膜板制作图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层时对位。
[0011]优选地，还设置有:指引标记，指引标记分布在第一公用标记周围，用来指示第一公用标记的所在位置。
[0012]更优地，指引标记分别分布在以第一公用标记为交点的互相垂直的两条直线上。
[0013]优选地，指示方向相同的指引标记为一组，同一组的指引标记之间的间距在5至10毫米之间；
[0014]第一公用标记与第一指引标记的间距在5至10毫米之间，第一指引标记为每一组中距离第一公用标记最近的指引标记。
[0015]更优地，指示方向相同的指引标记为一组，同一组中的指引标记之间的间距呈现:越靠近第一公用标记，间距越小的趋势。
[0016]优选地，指引标记的形状为尖角朝向第一公用标记的V字形。
[0017]优选地，指示方向相同的指引标记为一组，一组中指引标记的数量不超过3个。
[0018]优选地，指引标记的大小为第一公用标记的十分之一为五分之一之间。
[0019]本发明实施例还提供一种显示装置，使用了上述任一项所述的基板。
[0020]本发明实施例还提供一种上述的对位方法中使用的掩膜板，掩膜板上设置有第二公用标记，第二公用标记在使用掩膜板制作图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层时用于对位。
[0021]本发明提供一种基板、掩膜板及显示装置、对位方法，基板上设置有第一公用标记，掩膜板上设置有与第一公用标记相对应的第二公用标记，利用构图设备的偏差补正功能可以实现用同一掩膜板制作图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层，具体为:制作第一膜层时，将第一公用标记与第二公用标记对准，完成掩膜板与基板的对位，然后对第一膜层进行构图；制作第二膜层时，先将第一公用标记与第二公用标记对准，然后利用构图设备的偏差补正功能实现第二膜层与第一膜层的图形偏差，完成掩膜板与基板的对位，然后对第二膜层进行构图。上述对位方法中，构图设备在制作两个膜层的过程中仅使用一套对位标记，并且可以避免将某一膜层的对位标记与其他膜层的对位标记相混淆的问题，从而减少了构图设备在工作过程中出错的概率，提高了设备的嫁动率。
【附图说明】
[0022]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0023]图1为现有彩膜基板上的对位标记示意图；
[0024]图2为本发明实施例一中对准后的第一公用标记与第二公用标记示意图；
[0025]图3为本发明实施例一中彩膜基板及掩膜板上的标记示意图；
[0026]图4为本发明实施例四提供的对位方法流程图。
[0027]附图标记
[0028]1-蓝对位标记，2-绿对位标记，3-红对位标记，22-第一公用标记，23-指引标记，24-第二公用标记。
【具体实施方式】
[0029]本发明实施例提供一种对位方法，适用于利用同一掩膜板在同一基板上形成图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层，包括:当制作第一膜层时，将第一公用标记与第二公用标记对准完成掩膜板与基板对位，第一公用标记设置在基板上，第二公用标记设置在掩膜板上，与第一公用标记相对应；当制作第二膜层时，先将第一公用标记与第二公用标记对准，然后利用构图设备的偏差补正功能实现第二膜层与第一膜层的图形偏差，完成掩膜板与基板对位。
[0030]本发明实施例还提供一种采用上述对位方法时使用的基板，基板上设置有第一公用标记，第一公用标记用于在使用同一掩膜板制作图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层时对位。
[0031]本发明实施例还提供一种上述的对位方法中使用的掩膜板，掩膜板上设置有第二公用标记，第二公用标记在使用掩膜板制作图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层时用于对位。
[0032]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0033]实施例一
[0034]本发明实施例提供一种基板，如图2所示，该基板上设置有第一公用标记22，第一公用标记22在使用同一掩膜板制作图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层时用于对位；在制作第一膜层时，第一公用标记22与掩膜板上的第二公用标记24对准，具体如图2所示，完成掩膜板与基板的对位；在制作第二膜层时，在第一公用标记22与第二公用标记24对准的基础上，利用构图设备的偏差补正功能实现第二膜层与第一膜层的图形偏差，完成掩膜板与基板的对位，掩膜板上的第二公用标记24与第一公用标记22相对应。
[0035]本实施例提供的基板可以是液晶显示器制作彩膜层时使用的基板，即彩膜基板，其上设置有第一公用标记22。第一公用标记22同时用于制作红色、绿色、蓝色彩膜层，当然，本领域技术人员应该清楚，这只是便于理解而举出的一种应用场景的示例，并不是用于限制基板的种类。
[0036]如图2所示，可选地，本发明第一公用标记22的形状呈井字型，当然，本领域技术人员也可根据实际需要对第一公用标记22的形状及大小进行设计。
[0037]另外，需要说明的是，上述的第二膜层不限于一个膜层，第二膜层可以为一个膜层，也可以为与第一膜层图形相同但偏差程度不同的多个膜层，例如，第一膜层是蓝色彩膜层，第二膜层是红色彩膜层和绿色彩膜层。
[0038]下面以制作液晶显示器的彩膜基板上的红、绿、蓝彩膜层为例来具体说明上述的对位过程，在该说明中，蓝色彩膜层属于第一膜层，红色彩膜层和绿色彩膜层属于第二膜层O
[0039]制作蓝色彩膜层:在完成彩膜层制备工序前的所有工序后，在基板上涂覆蓝色光刻胶，然后将基板上的第一公用标记22与掩膜板上的第二公用标记24对准，此时对位完成。后续直接进行曝光、显影等构图工序，在