用于构造薄膜反射镜的方法和装置的制造方法_3

文档序号:8417451阅读:来源:国知局
别与真空腔室5组合形成密封腔室,如腔室30与腔室32。
[0058]第一扩展器13与第二扩展器14中的每一个扩展器可以由任何适合的材料(木材、金属、塑料等)制成。此外,可以优选地,第一扩展器13与第二扩展器14在结构上至少部分是刚性的,使得当薄膜受到力或处于真空条件时,使第一扩展器的边缘8与第二扩展器的边缘9的弯曲最小化。
[0059]下面转向图2b,示出了覆膜附件的使用。如本领域的技术人员将理解的,术语“覆膜(skinning) ”是指将薄膜附接到真空腔室5上并控制该薄膜以实现期望的形状和稳定性的过程。如图2b所示,覆膜附件15是用于真空腔室5、第一扩展器13与第二扩展器14的侧面附件,其有助于覆膜过程。人们已知覆膜附件(有时候本领域中称作“覆膜耳”),如覆膜附件15的使用。覆膜附件通常位于真空腔室的相对侧(例如相对的侧面),并通常地在覆膜过程完成时从真空腔室移除。然而,一些真空腔室的设计包括以同样的方式起到覆膜附件的作用的永久性结构。
[0060]参照图2b,覆膜附件15可以附接到真空腔室5的相对的侧端(图2示出两个覆膜附件中的一个)。每个覆膜附件15可以具有两组膜安装表面延伸部16、膜安装表面延伸部17、膜安装表面延伸部18、膜安装表面延伸部19。第一组膜安装表面延伸部16、膜安装表面延伸部17可以对应于第一扩展器的边缘8和第二扩展器的边缘9。例如,第一组膜安装表面延伸部16、膜安装表面延伸部17可以分别与第一扩展器的边缘8和第二扩展器的边缘9的安装表面对齐。同样地,第二组膜安装表面延伸部18、膜安装表面延伸部19可以对应于真空顶边缘I和真空底边缘2。例如,膜安装表面延伸部18可以与真空顶边缘I的安装表面11对齐,膜安装表面延伸部19可以与真空底边缘2的安装表面12对齐。在覆膜过程期间,松弛的或略微拉紧的薄膜可以保持与覆膜耳15的前表面20接触,并还与第一组膜安装表面延伸部16、膜安装表面延伸部17接触。
[0061]下面转向图6,示出薄膜10在装置上的布置。如图所示,该装置包括第一扩展器13与第二扩展器14。可以放置薄膜10,使得其与第一扩展器的边缘8与第二扩展器的边缘9接触。在松弛或略微拉紧的状态中,薄膜10未与真空腔室5接触,包括真空腔室的边缘I和真空腔室的边缘2。然而,将理解的是,尽管未示出,但该装置可以配置成使得仅仅使用一个扩展器(例如第一扩展器13)。因此,可以使薄膜10与第一扩展器的边缘8和真空底边缘2接触。类似地,在仅仅使用第二扩展器14的情况中,可以使薄膜10与第二扩展器的边缘9和真空顶边缘I接触。使用标准技术,薄膜10可以被固定到使薄膜10所接触的表面。
[0062]—旦松弛的或略微拉紧的膜被固定,例如固定到第一扩展器的边缘8与第二扩展器的边缘9上,一个或多个拉杆和拉紧器件可以用于向薄膜10施加力,从而引起薄膜10伸展。如本文中所使用的,拉杆是适合用于在选择的位置处向薄膜施加力的任何结构。图3a、图3b和图7示出拉杆和拉紧器件与真空腔室5、第一扩展器13、第二扩展器14和薄膜10一起的示例性使用。为简单起见,覆膜附件15未示出。如图所示,拉杆21可以被定位成使其可以用于迫使薄膜10朝向真空顶边缘I。例如,拉杆21可以被定位成迫使薄膜10进入由第一扩展器13与真空腔室5形成的第一扩展器腔室30内。因此,拉杆21可以被定位成邻近真空腔室5,更具体地说,被定位在真空顶边缘I与第一扩展器的边缘8之间。可替选地,拉杆21可以被定位在真空顶边缘I与真空底边缘2之间,或者,拉杆21可以与真空顶边缘I成直线直接定位。
[0063]多个拉紧器件23a可以用于向杆21施加力,从而导致杆21向薄膜10施加力。图3b、图7、图8和图1Oa示出示例性的拉紧器件23a。拉紧器件23a可以调节直到真空腔室5沿着顶边缘I和/或膜安装表面11被薄膜10密封。可替选地,例如拉紧器件23a可以适合于固定到第一扩展器13。本领域的技术人员将意识到可以应用各种类型的拉紧器件23a的设计。
[0064]类似地,如图所示,拉杆22可以被定位成使其可以用于迫使薄膜10朝向真空底边缘2。例如,拉杆22可以被定位成迫使薄膜10进入由第二扩展器14与真空腔室5形成的第一扩展器腔室32内。因此,拉杆22可以被定位成邻近真空腔室5,更具体地说,被定位在真空底边缘2与第二扩展器的边缘9之间。可替选地,拉杆22可以被定位在真空底边缘2与真空顶边缘I之间,或者,拉杆22可以与真空底边缘2成直线直接定位。
[0065]多个拉紧器件23b可以用于向杆22施加力,从而导致杆22向薄膜10施加力。图7、图8和图1Ob示出示例性的拉紧器件23b。拉紧器件23b可以调节直到真空腔室5沿着底边缘2和/或膜安装表面12被薄膜10密封。可替选地,例如拉紧器件23b可以适合于固定到第二扩展器14。本领域的技术人员将意识到可以应用各种类型的拉紧器件23b的设
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[0066]此外,可以期望的是,调节拉紧器件23a、拉紧器件23b以使薄膜10沿着膜安装表面延伸部18和膜安装表面延伸部19以及沿着覆膜附件的表面20密封。图7示出这种密封的横截面图。
[0067]密封真空腔室5之后,可以施加部分真空25。图8示出作为部分真空25的结果,薄膜10再成形为曲面。如图4和图9所示,一旦薄膜10已经获得其期望的形状,夹具24可以用于将薄膜10固定到真空边缘1、真空边缘2、真空边缘3和真空边缘4上。例如,薄膜10可以沿着膜安装表面6、膜安装表面7、膜安装表面11和膜安装表面12被夹住24。在一个实施方式中,薄膜10沿着所有四个真空边缘1、真空边缘2、真空边缘3和真空边缘4被夹住24。使用夹具24,可以永久地密封反射镜且可以锁定由拉杆21和拉杆22以及拉紧器件23a、拉紧器件23b对薄膜10所形成的模式。一旦被夹住24,第一扩展器13、第二扩展器14、拉杆21与拉杆22、以及拉紧器件23a、拉紧器件23b可以被移除,多余的薄膜10可以被修剪。
[0068]本领域的技术人员应当理解的是,改变并移动扩展器的边缘位置和/或半径提供了沿着与真空边缘I和真空边缘2正切以及垂直的方向对薄膜10中的应力模式的控制。因此,可以期望使用具有关于扩展器的剩余部是可调节的边缘的扩展器。垂直于真空边缘I和真空边缘2的对薄膜10中的应力模式的额外控制可以通过拉紧器件23a、拉紧器件23b来实现,该拉紧器件可以被用于沿着真空边缘I和真空边缘2空间地改变应力模式。应当理解的是,通过调节扩展器的边缘关于真空腔室的位置,实现对应力模式类似的控制。
[0069]尽管关于某一优选的实施方式或多个优选的实施方式,本发明已被示出并被描述,但显而易见的是,本领域的其他技术人员通过阅读并理解本说明书和附图将想到等同改变和变型。特别地,对于由上述元件(部件、组件、设备、组合物等)执行的各种功能,除非另有说明,用于描述这样的元件的术语(包括“手段(means)”的提及)用来对应执行所描述的元件的指定功
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