异空间异尺寸基材对位方法
【技术领域】
[0001]本发明是关于一种基材对位方法，尤其是一种异空间异尺寸基材对位方法，其适用于在不同等待空间下的具有特定标记或特定外形的不同尺寸的二基板的对位。
【背景技术】
[0002]典型的双层板对位的技术应用为玻璃光罩精密对位，除此之外，应用双层板对位技术的范围甚为广泛，如半导体业、平面显示器业、印刷电路板业等领域皆为其应用领域。而光罩精密对位为上述电子产业的各类曝光机的关键技术，若能掌握其关键技术以降低制造成本，则对提高国际竞争力将有莫大的助益。
[0003]美国专利公告US7946669号揭示一种插入式的对位装置，主要是将两个电荷耦合元件(Charge Coupled Device ;CCD)同时插入双层板之中，分别撷取上下对位标记的影像，然后进行对位。两个电荷耦合元件必须先校正于单一坐标空间，因此该对位装置属于单一坐标空间取像的空间对位。
[0004]台湾专利公告TWI288365号揭示一种达成高精密对位需求的双层板的对位装置，主要是将两个电荷耦合元件皆放置于双层板上方，同时撷取两组无重叠的上下对位标记的复合影像，然后经由空间运算后进行精密对位。两个电荷耦合元件亦须先校正于单一坐标空间，因此该对位装置亦属于单一坐标空间取像的空间对位。
[0005]先前技术都是将对位标记合成重叠标记影像进行单一坐标空间计算对位，且仅能于同一尺寸的基材进行。
[0006]然而，在某些高科技产业在工艺中，常因材料的特殊性，在利用影像视觉辅助进行贴合、结合或组合时常会遭遇到异尺寸的对位物件无法于同一影像撷取单元中进行影像对位的困扰。例如，在触控面板产业中，由于触控面板具有多样且异尺寸的多层贴合工艺，因此有时无法使用重叠式的对位标记设计。
[0007]因此，便有需要提供一种异空间异尺寸基材对位方法，以解决前述的问题。
【发明内容】
[0008]本发明的目的在于提供一种对位方法可适用于在不同等待空间下的具有特定标记或特定外形的不同尺寸的二基板的对位。
[0009]为达成上述目的，本发明提供一种异空间异尺寸基材对位方法，包括下列步骤:利用在第一等待空间中的校正后的二影像撷取单元及在第二等待空间中的校正后的二影像撷取单元，分别撷取在该第一及第二等待空间中的不同尺寸的二基板的至少二实际局部图像；分别比对该二基板的标准局部特征区域内的特定标记或特定外形，并取得该二基板的至少二实际局部特征区域内的特定标记或特定外形；分别建立该二基板的实际坐标系统，以合成一对位组装坐标系统；比对该二实际坐标系统中的二基板的特定标记或特定外形的坐标值以取得第一组偏移量，并比对该二基板的尺寸以取得尺寸差量；利用该第一组偏移量及该尺寸差量，修正该二基板的其中一基板的特定标记或特定外形的坐标值；比对该二实际坐标系统中的二基板的其中该基板修正后的特定标记或特定外形的坐标值与该二基板的其中另一基板的特定标记或特定外形的坐标值，以取得第二组偏移量；将二基板的其中该基板移动至该第二组偏移量所补偿的位置；利用一第一预定移动量，使二基板的其中该基板由该第一等待空间移动到一对位组装空间中；以及利用一第二预定移动量，使二基板的其中另一基板由该第二等待空间移动到该对位组装空间中。
[0010]上述的异空间异尺寸基材对位方法，还包含下列步骤:
[0011 ] 预校正在一第一等待空间中的二影像撷取单元及在一第二等待空间中的二影像撷取单元的空间位置。
[0012]上述的异空间异尺寸基材对位方法，还包含下列步骤:
[0013]利用在该第一等待空间中的校正后的二影像撷取单元及在该第二等待空间中的校正后的二影像撷取单元，预定义不同尺寸的二基板的标准局部特征区域内的特定标记或特定外形。
[0014]上述的异空间异尺寸基材对位方法，还包含下列步骤:
[0015]确认该第二组偏移量是否小于欲达到的目标值。
[0016]上述的异空间异尺寸基材对位方法，还包含下列步骤:
[0017]使该二基板在对位组装空间中完成堆叠对位组装。
[0018]上述的异空间异尺寸基材对位方法，其中预校正在一第一等待空间中的二影像撷取单元及在一第二等待空间中的二影像撷取单元的空间位置的步骤包含下列步骤:
[0019]将两个校正片叠合，使该些校正片的特定标记重叠；
[0020]将叠合后的该些校正片设置于在该第一等待空间中的第一及第二影像撷取单元上方，移动该第一及第二影像撷取单元以撷取在该第一等待空间中的叠合后的该些校正片的虚线环绕区域的第一对角线的两端的特定标记，如此以校正该第一及第二影像撷取单元在该第一等待空间的位置；
[0021]将叠合后的该些校正片设置于在该第二等待空间中的第三及第四影像撷取单元下方，移动第三及第四影像撷取单元以撷取在该第二等待空间中的叠合后的该些校正片的虚线环绕区域的第二对角线的两端的特定标记，如此以校正该第三及第四影像撷取单元在该第二等待空间的位置；以及
[0022]校正后的该第一至第四影像撷取单元将被固定不动。
[0023]上述的异空间异尺寸基材对位方法，其中该二基板的其中该基板的特定标记为十字形标记，且该二基板的其中另一基板的特定标记为十字管形标记。
[0024]上述的异空间异尺寸基材对位方法，其中该二基板的其中该基板的特定外形为直角角隅，且该二基板的其中另一基板的特定外形为直角角隅。
[0025]上述的异空间异尺寸基材对位方法，其中该第二组偏移量用以补偿在该第一及第二等待空间中的该些影像撷取单元的视觉差异所需的X、Y轴方向位移及旋转角度。
[0026]本发明的对位方法可适用于在不同等待空间下的具有特定标记或特定外形的不同尺寸的二基板的对位。该二基板位于不同等待空间时，利用该二基板的实际局部特征区域内的特定标记(或特定外形)，以进行计算后续该二基板的特定标记的坐标(或特定外形)的坐标值。修正该二基板的其中一基板的特定标记(或特定外形)的坐标值，使该不同尺寸的二基板模拟成相同尺寸的二基板。然后，进行异空间下的异尺寸基材对位偏差修正补偿，并续进行后工艺(例如:贴合或组装)，不需建立影像坐标系统与对位坐标系统的复杂转换关系，因此可有效减少大量的数学计算与减少设备调机时间，并增加对位贴合工艺的弹性。
[0027]为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显，下文将配合所附附图，作详细说明如下。
【附图说明】
[0028]图1a及Ib为本发明的一实施例的用于异空间异尺寸基材的对位方法的流程图；
[0029]图2a为本发明的一实施例的两个校正片的平面示意图；
[0030]图2b为本发明的一实施例的两个校正片及四个影像撷取单元的立体示意图；
[0031]图3为本发明的一实施例的用于异空间异尺寸基材的对位装置的立体示意图，其显示不同尺寸的二基板的标准局部特征区域内的特定标记(或特定外形)；
[0032]图4a为本发明的一实施例的第一标准局部图像的平面示意图；
[0033]图4b为本发明的一实施例的第二标准局部图像的平面示意图；
[0034]图5为本发明的一实施例的用于异空间异尺寸基材的对位装置的立体示意图，其显示不同等待空间的二基板的至少二实际局部图像；
[0035]图6a为本发明的一实施例的第一实际局部图像的平面示意图；
[0036]图6b为本发明的一实施例的第二实际局部图像的平面示意图；
[0037]图7a为本发明的一实施例的对位组装坐标系统的平面示意图，其显示特定标记坐标值(XI，Yl)、(X2, Y2)及特定标记坐标值(X3, Y3)、(X4, Y4)；
[0038]图7b为本发明的一实施例的对位组装坐标系统的平面示意图，其显示特定外形坐标值(XI，Yl)、(X2, Y2)及特定外形坐标值(X3, Y3)、(X4, Y4)；
[0039]图8a为本发明的一实施例的对位组装坐标系统的平面示意图，其显示特定标记坐标值修正为(ΧΓ，ΥΓ )、(Χ2，，Υ2’ )及特定标记坐标值(X3，Y3)、(Χ4, Υ4)；
[0040]图Sb为本发明的一实施例的对位组装坐标系统的平面示意图，其显示特定外形坐标值修正为(XI，，Υ1，)、(Χ2，，Υ2，)及特定外形坐标值(Χ3，Υ3)、(Χ4, Υ4)；
[0041]图9为本发明的一实施例的用于异空间异