显示装置及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具备配置有多个端子的端子部的显示装置及其制造方法。
【背景技术】
[0002]近年，开发出液晶显示装置、有机EL (Organic Electroluminescence，有机电致发光)显示装置等使用薄膜晶体管(TFT)来控制各像素的显示灰度的显示装置。这样的显示装置需要向具备薄膜晶体管的多个像素分别供给电流。因此，具备:端子部，其配置有与外部电路等连接而接受电流供给的多个端子；以及包括与这些多个端子连接的多个布线的布线部。这些显示装置中，防止端子部及布线部的劣化、提高端子部的连接可靠性成为重要课题。
[0003]为此，在以往的显示装置中提出如下技术:在形成有TFT的基板上的端子部，使用绝缘膜而形成突起，利用该突起来确保端子部与挠性布线基板的导通(日本特开2008 -065135号公报)。该技术是在形成于突起上的端子用导电膜与形成于挠性布线基板的凸块之间配置热固性的绝缘性膜，通过刺破绝缘性膜使端子用导电膜与凸块接触来确保导通。
[0004]然而，在如上述的以往的显示装置这样由形成于端子部的突起与形成于外部电路(挠性布线基板)的凸块限定连接部位的情况下，虽然利用绝缘性膜确保了可靠性，但存在连接电阻变高的隐患。而且，由于需要形成多个微细突起，因此存在对制造工艺的负担变重的隐患。
【发明内容】
[0005]发明所要解决的技术问题
[0006]因此，本发明是为解决上述课题而做出的，其目的在于提供一种在安装外部电路时、不使成品率变差就成确保高可靠性的显示装置及其制造方法。此外，另一目的在于无需大幅改变制造工艺而用简单的制造工序就能实现这样的显示装置。
[0007]用于解决技术问题的手段
[0008]本发明的一实施方式的显示装置的制造方法，所述显示装置具备:显示部，其在基板上配置有多个具有薄膜晶体管的像素；以及端子部，其排列有多个端子，所述多个端子被输入用于控制所述薄膜晶体管的工作的信号，所述显示装置的制造方法的特征在于，包括:在所述基板上形成第I绝缘膜，在所述第I绝缘膜上形成所述薄膜晶体管，在形成所述薄膜晶体管后，在所述显示部和所述端子部形成第2绝缘膜，在所述第2绝缘膜形成使所述薄膜晶体管的至少一部分露出的接触孔，并在所述端子部形成多个开口部，在所述第2绝缘膜上形成经由所述接触孔与所述薄膜晶体管连接的多个信号线，并在形成所述信号线的同时夹着所述开口部地形成多个端子布线，在所述多个信号线及所述多个端子布线上形成由有机绝缘膜形成的第3绝缘膜。
[0009]所述显示装置的制造方法还可以包括:在所述端子部中，将所述第3绝缘膜的一部分除去而使所述多个端子布线的一部分露出，形成将所述多个端子布线的所述露出的部分覆盖的导电膜。
[0010]本发明的另一实施方式的显示装置的制造方法，所述显示装置具备:显示部，其在基板上配置有多个具有薄膜晶体管的像素；以及端子部，其排列有多个端子，所述多个端子被输入用于控制所述薄膜晶体管的工作的信号，所述显示装置的制造方法的特征在于，包括:在所述基板上形成第I绝缘膜，在所述第I绝缘膜上形成所述薄膜晶体管，在形成所述薄膜晶体管后，在所述显示部和所述端子部形成第2绝缘膜，在所述第2绝缘膜形成使所述薄膜晶体管的至少一部分露出的接触孔，并在所述端子部形成多个开口部，在所述第2绝缘膜上形成经由所述接触孔与所述薄膜晶体管连接的多个信号线，并在形成所述信号线的同时夹着所述开口部地形成多个端子布线，在所述多个信号线上形成由有机绝缘膜形成的第3绝缘膜，在所述第3绝缘膜及所述多个端子布线上形成由无机绝缘膜形成的第4绝缘膜，在所述端子部中除去所述第4绝缘膜的一部分而使所述多个端子布线的一部分露出，形成将所述多个端子布线的所述露出的部分覆盖的导电膜，在所述导电膜上形成由有机绝缘膜形成的第5绝缘膜，除去所述第5绝缘膜的一部分而使所述导电膜的一部分露出。
[0011]可以使用具有透光性的导电膜形成所述导电膜。
[0012]此外，可以使用丙烯酸或聚酰亚胺形成所述第3绝缘膜。
[0013]本发明的一实施方式的显示装置包括:显示部，其在基板上配置有多个具有薄膜晶体管的像素；以及端子部，其排列有多个端子，所述多个端子被输入用于控制所述薄膜晶体管的工作的信号，所述显示装置的特征在于，具备:配置于所述基板上的第I绝缘膜；配置于所述第I绝缘膜上的所述薄膜晶体管；第2绝缘膜，其配置于所述显示部及所述端子部，且具有配置于所述多个端子之间的开口部；配置于所述第2绝缘膜上、且与所述薄膜晶体管连接的多个信号线；配置于所述端子部的多个端子布线；以及第3绝缘膜，由配置于所述多个信号线及所述多个端子布线上的有机绝缘膜形成。
[0014]可以是，所述多个端子经由设于所述第3绝缘膜的多个接触孔而分别与所述多个端子布线连接。
[0015]本发明的另一实施方式的显示装置，包括:显示部，其在基板上配置有多个具有薄膜晶体管的像素；以及端子部，其排列有多个端子，所述多个端子被输入用于控制所述薄膜晶体管的工作的信号，所述显示装置的特征在于，具备:配置于所述基板上的第I绝缘膜；配置于所述第I绝缘膜上的所述薄膜晶体管；第2绝缘膜，其配置于所述显示部及所述端子部，且具有配置于所述多个端子之间的开口部；配置于所述第2绝缘膜上、且与所述薄膜晶体管连接的多个信号线；配置于所述端子部的多个端子布线；第3绝缘膜，由配置于所述多个信号线上的有机绝缘膜形成；第4绝缘膜，由配置于所述第3绝缘膜及所述多个端子布线上的无机绝缘膜形成，具有使所述多个端子布线的一部分露出的多个接触孔；所述多个端子，配置于所述第4绝缘膜上，并经由所述多个接触孔分别与所述多个端子布线连接；以及第5绝缘膜，使所述多个端子的一部分露出地配置在所述多个端子上。
[0016]可以由具有透光性的导电膜形成所述多个端子。
[0017]此外，所述第3绝缘膜可以包含丙烯酸或聚酰亚胺。
【附图说明】
[0018]图1是表示本发明的一实施方式的显示装置的概略结构的俯视图。
[0019]图2是表示本发明的一实施方式的显示装置的概略结构的纵剖视图。
[0020]图3A是表示本发明的一实施方式的显示装置的概略结构的图，(a)是显示装置的俯视图，(b)是显示装置的剖视图。
[0021]图3B是表示本发明的一实施方式的显示装置的概略结构的立体图。
[0022]图4是表示本发明的第一实施方式的显示装置的概略结构的剖视图。
[0023]图5是表示本发明的第一实施方式的显示装置的端子部的概略结构的图，(a)是端子部的俯视图，(b)是端子部的剖视图。
[0024]图6是表示本发明的第一实施方式的显示装置的布线部的概略结构的剖视图。
[0025]图7是表示本发明的第二实施方式的显示装置的概略结构的剖视图。
[0026]图8是表示本发明的第二实施方式的显示装置的端子部的概略结构的图，(a)是端子部的俯视图，(b)是端子部的剖视图。
[0027]图9是表示本发明的第二实施方式的显示装置的布线部的概略结构的剖视图。
[0028]图10是表示以往的显示装置的概略结构的剖视图。
【具体实施方式】
[0029]以下，参照附图，说明本发明的显示装置的实施方式。需要说明的是，本发明的显示装置不限于以下的实施方式，可以加以各种变形而实施。
[0030]图1表示本发明的一实施方式的显示装置10的概略结构。本实施方式的显示装置10中，在基板7上具备:包括多个像素101的显示部9、驱动IC102、外部电路103、及扫描线驱动电路104。在显示部9中，沿图中的横方向的多个控制信号线gl — I?gl — 3和沿纵方向的多个数据信号线dl?d3相互交叉配置。在与控制信号线gl — I?gl — 3和数据信号线dl?d3的交叉部对应的位置，呈矩阵状地配置有多个像素101。
[0031]图1中作为一例而示出了每一像素101中3根控制信号线gl — I?gl — 3和I根数据信号线dl交叉配置的结构，但并不限定于该结构。可以将电源线等供给恒定电压的布线配置于显示部9。在各像素101配置有像素