有源矩阵基板和显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具有栅极总线和数据总线的有源矩阵基板和使用该有源矩阵基板的显示装置。
【背景技术】
[0002]近年来，例如液晶显示装置作为与以往的布劳恩管相比具有薄型、轻型等特长的平板面板显示器而广泛应用于液晶电视、监视器、便携电话等。已知在这种液晶显示装置中使用具有如下有源矩阵基板的液晶面板作为显示面板:将多条数据总线(源极配线)和多条栅极总线(扫描配线)按矩阵状配置，并且在数据总线与栅极总线的交叉部附近按矩阵状配置有具有薄膜晶体管(TFT:Thin Film Transistor)等开关元件(第I开关元件)和与该开关元件连接的像素电极的像素。
[0003]另外，在如上所述的现有的有源矩阵基板中，已知如下构成:随着液晶显示装置的窄边框化，在数据驱动器(源极驱动器)和/或栅极驱动器的驱动器芯片(IC芯片)安装部的附近配置用于检查对应的数据总线或者栅极总线的检查用薄膜晶体管(第2开关元件)。
[0004]而且，在现有的有源矩阵基板中，提出了例如如下述专利文献I记载的那样，在上述驱动器安装部中设有:第I部分，其具有用于连接与设于驱动器侧的凸块连接的ITO(安装端子的端子上层电极)和与该ITO对应的数据总线或者栅极总线的端子接触孔；以及第2部分，其仅具有上述ΙΤ0。并且，在该现有的有源矩阵基板中，即使随着液晶显示装置的高精细化而使数据总线和/或栅极总线的配线间距变小，也能形成驱动器安装部的安装端子。
_5] 现有技术文献
[0006]专利f献
[0007]专利文献1:特开2009-145849号公报
【发明内容】
_8] 发明要解决的问题
[0009]然而，在如上所述的现有的有源矩阵基板中，与上述第I部分和第2部分连续地配置有检查用薄膜晶体管(第2开关元件)。因此，在该现有的有源矩阵基板中会产生如下问题:在驱动器安装部的区域即驱动器安装区域小的情况(驱动器IC芯片小的情况)下，在该驱动器安装区域内无法配置检查用薄膜晶体管。
[0010]鉴于上述问题，本发明的目的在于提供即使在驱动器的安装区域小的情况下也能容易地配置第2开关元件的有源矩阵基板和使用该有源矩阵基板的显示装置。
[0011]用于解决问题的方案
[0012]为了实现上述目的，本发明的有源矩阵基板的特征在于，具备:基材；
[0013]栅极总线，其设于上述基材上；
[0014]数据总线，其设于与上述栅极总线隔着绝缘膜而不同的层；
[0015]第I开关元件，其与上述栅极总线和上述数据总线连接；
[0016]至少I层的层间绝缘膜，其以覆盖上述第I开关元件的方式设置；
[0017]像素电极，其与上述第I开关元件连接；
[0018]安装端子，其用于对上述栅极总线或者上述数据总线提供来自驱动器的信号；
[0019]引出线，其将上述安装端子与上述栅极总线或者上述数据总线连接；
[0020]多个第2开关元件，其分别与多条上述引出线连接；以及
[0021]第I共用配线，其与上述多个第2开关元件共同连接，
[0022]在上述安装端子中，端子上层电极与端子下层电极通过端子接触孔连接，其中，上述端子下层电极由与上述栅极总线相同的导电层和与上述数据总线相同的导电层中的至少一方形成，上述端子接触孔形成于上述层间绝缘膜中的至少I层，
[0023]上述各个第2开关元件配置在上述第I共用配线和上述端子接触孔之间，
[0024]上述端子上层电极以覆盖上述各个第2开关元件中的至少一部分的方式设置。
[0025]在如上述那样构成的有源矩阵基板中，在安装端子中，端子上层电极和端子下层电极通过端子接触孔连接。另外，第2开关元件配置在上述第I共用配线和端子接触孔之间。另外，端子上层电极以覆盖第2开关元件的至少一部分的方式设置。由此，与上述现有例子不同，即使在驱动器的安装区域小的情况下，也能容易地配置第2开关元件。
[0026]另外，也可以在上述有源矩阵基板中，具备:第3开关元件，其与上述栅极总线或者上述数据总线中的未与上述安装端子连接的一侧的端部连接；以及
[0027]第2共用配线，其与多个上述第3开关元件共同连接。
[0028]在这种情况下，第3开关元件和第2共用配线设于未设有上述安装端子的一侧，因此能使上述第I共用配线的构成等的安装端子侧的构成简单化，即使在驱动器的安装区域小的情况下，也能更容易地配置第2开关元件。
[0029]另外，优选在上述有源矩阵基板中设有多条上述第2共用配线，并且
[0030]对上述各条第2共用配线连接有规定数量的上述第3开关元件。
[0031]在这种情况下，能用第2共用配线对上述栅极总线或者数据总线按每规定数量实施检查处理、电压施加处理等动作处理。
[0032]另外，优选在上述有源矩阵基板中设有多条上述第I共用配线，并且
[0033]对上述各条第I共用配线连接有规定数量的上述第2开关元件。
[0034]在这种情况下，能用第I共用配线对上述栅极总线或者数据总线按每规定数量实施检查处理、电压施加处理等动作处理。
[0035]另外，优选在上述有源矩阵基板中，在多条上述引出线中，相邻的2条中的I条引出线利用与上述栅极总线相同的导电层形成，
[0036]相邻的2条中的另I条引出线利用与上述数据总线相同的导电层形成。
[0037]在这种情况下，能抑制引出线的短路、断线的发生。
[0038]另外，优选在上述有源矩阵基板中设有多条上述第I共用配线，
[0039]与利用与上述栅极总线相同的导电层形成的上述引出线中的相邻的2条引出线分别连接的2个上述第2开关元件与相互不同的上述第I共用配线连接，
[0040]与利用与上述数据总线相同的导电层形成的上述引出线中的相邻的2条引出线分别连接的2个上述第2开关元件与相互不同的上述第I共用配线连接。
[0041]在这种情况下，利用与栅极总线相同的导电层形成的引出线和利用与数据总线相同的导电层形成的引出线都能使用第I共用配线来容易地进行是否发生了短路的检查动作。
[0042]另外，优选在上述有源矩阵基板中，在上述安装端子中，包括:第I端子下层电极，其包括利用与上述栅极总线相同的导电层形成的引出线的端部；以及
[0043]第2端子下层电极，其与上述第2开关元件的电极构成为一体，并且利用与上述数据总线相同的导电层形成，并且
[0044]在上述端子接触孔中，上述第I端子下层电极和第2端子下层电极相互连接。
[0045]在这种情况下，能在端子接触孔中进行利用与栅极总线相同的导电层形成的引出线和利用与数据总线相同的导电层形成的第2开关元件的电极的转接，能省略用于该转接的区域的设置，能容易地减小有源矩阵基板的外形尺寸。
[0046]另外，优选上述有源矩阵基板中，在上述安装端子中，包括:第3端子下层电极，其利用与上述栅极总线相同的导电层形成；以及
[0047]第4端子下层电极，其包括利用与上述数据总线相同的导电层形成的引出线的端部，并且与上述第2开关元件的电极构成为一体，并且
[0048]在上述端子接触孔中，上述第3端子下层电极和第4端子下层电极相互连接。
[0049]在这种情况下，能与上述引出线的构成无关地将安装端子的构成设为完全相同的构成，能容易地检查驱动器对安装端子的安装状态。
[0050]另外，也可以在上述有源矩阵基板中具备:共用电极，其包括透明电极材料，并且设于上述像素电极的上方或者下方；以及
[0051]金属电极，其设于上述共用电极的上层或者下层，
[0052]上述第2开关元件的至少一部分被由上述共用电极和上述金属电极中的上述金属电极形成的遮光膜覆盖。
[0053]在这种情况下，对共用电极设有金属电极，由此能抑制显示不良，并且第2开关元件的至少一部分被由金属电极形成的遮光膜覆盖，因此能用该第2开关元件能高精度地进行检查动作等。
[0054]另外，也可以在上述有源矩阵基板中，在上述安装端子中设有多个上述端子接触孔。
[0055]在这种情况下，能容易地减少安装端子和驱动器的接触不良。
[0056]另外，优选在上述有源矩阵基板中，上述端子上层电极由与上述像素电极相同的导电层形成。
[0057]在这种情况下，能容易地构成结构简单并且制造工序简单化的有源矩阵基板。
[0058]另外，优选在上述有源矩阵基板中，在上述第I开关元件和第2开关元件中使用氧化物半导体。
[0059]在这种情况下，能容易地构成高性能且紧凑地的开关元件，并且能用第2开关元件高精度地进行检查动作。
[0060]另外，本发明的显示装置的特征在于，使用上述任一有源矩阵基板。
[0061]在如上述那样构成的显示装置中，使用了即使在驱动器的安装区域小的情况下也能容易地配置第2开关元件的有源矩阵基板，因此能容易地构成高性能且紧凑的显示装置。
[0062]发明效果
[0063]根据本发明，能提供即使在驱动器的安装区域小的情况下，也能容易地配置第2开关元件的有源矩阵基板和使用该有源矩阵基板的显示装置。
【附图说明】
[0064]图1是说明使用本发明的第I实施方式的有源矩阵基板的液晶显示装置的图。
[0065]图2是说明图1所示的液晶面板的构成的图。
[0066]图3是说明上述有源矩阵基板的主要部分的俯视图。
[0067]图4是说明图3所示的数据驱动器的安装部的放大俯视图。
[0068]图5是说明上述液晶面板的像素结构的放大俯视图。
[0069]图6是图5的V1-VI线截面图。
[0070]图7是说明图3所示的有源矩阵基板的主要部分构成的图。
[0071]图8是说明图7所示的安装端子和第2薄膜晶体管的放大俯视图。
[0072]图9是图7的IX-1X线截面图。
[0073]图10是图7的X-X线截面图。
[0074]图11是说明本发明的第2实施方式的有源矩阵基板的主要部分构成的图。
[0075]图12是说明本发明的第3实施方式的有源矩阵基板的主要部分构成的图。
[0076]图13是说明本发明的第4实施方式的有源矩阵基板的主要部分构成的图。
[0077]图14是图13的XIV-XIV线截面图。
[0078]图15是图13的XV-XV线截面图。
[0079]图16是说明使用本发明的第5实施方式的有源矩阵基板的液晶面板的像素结构的放大俯视图。
[0080]图17是图16的XVI1-XVII线截面图。
[0081]图18是说明图16所示的有源矩阵基板的主要部分构成的图。
[0082]图19是说明图18所示的安装端子、第2薄膜晶体管和金属电极的放大俯视图。
[0083]图20是图18的XX-XX线截面图。
[0084]图21是图18的XX1-XXI线截面图。
[0085]图22是说明使用本发明的第6实施方式的有源矩阵基板的液晶面板的主要部分构成的俯视图。
[0086]图23是说明图22所示的有源矩阵基板的数据驱动器的安装部侧的主要部分构成的图。
[0087]图24是说明图22所示的有源矩阵基板的数据驱动器的与安装部相反的一侧的主要部分构成的图。
【具体实施方式】
[0088]以下，参照【附图说明】本发明的有源矩阵基板和显示装置的优选实施方式。此外，在以下的说明中，举例说明将本发明应用于透射型的液晶显示装置的情况。另外，各图中的构成构件的尺寸并非忠实表示实际构成构件的尺寸和各构成构件的尺寸比率等。
[0089][第I实施方式]
[0090]图1是说明使用本发明的第I实施方式的有源矩阵基板的液晶显示装置的图。在图1中，本实施方式的液晶显示装置I设有:液晶面板2，其将图1的上侧设置为视觉识别侧(显示面侧)；以及背光源装置3，其配置在液晶面板2的非显示面侧(图1的下侧)，产生对该液晶面板2进行照明的照明光。
[0091]液晶面板2具备构成一对基板的相对基板4和本发明的有源矩阵基板5以及分别设于相对基板4和有源矩阵基板5的各外侧表面的偏振板6、7。在相对基板4和有源矩阵基板5之间夹持有后述的液晶层。另外，相对基板4和有源矩阵基板5采用平板状的透明玻璃材料或者丙烯酸树脂等透明的合成树脂。偏振板6、7采用TAC(醋酸纤维素)或者PVA (聚乙烯醇)等树脂膜，以至少覆盖设于液晶面板2的显示面的有效显示区域的方式与对应的相对基板4或者有源矩阵基板5贴合。此外，有时也会在偏振板6、7与液晶层之间配置λ /4相位差板(4分之I波长板)。
[0092]另外，有源矩阵基板5构成上述一对基板中的一方基板，在有源矩阵基板5中，在与上述液晶层之间，与液晶面板2的显示面中包含的多个像素相应地形成有像素电极、薄膜晶体管(TFT:Thin Film Transistor)等(后面详细说明。)。另一方面，相对基板4构成一对基板中的另一方基板(相对基板)，在相对基板4上与上述液晶层之间形成有彩色滤光片、相对电极等(未图示)。
[0093]另外，在液晶面板2中，设有与进行该液晶面板2的驱动控制的控制装置(未图示)连接的FPC(Flexible Printed Circuit:柔性印刷电路板)8，按像素单位使上述液晶层进行动作来按像素单位驱动显示面，在该显示面上显示所希望图像。
[0094]此外，液晶面板2的液晶模式、像素结构是任意的。另外，液晶面板2的驱动模式也是任意的。即，液晶面板2可以使用能显示信息的任意的液晶面板。因此，在图1中不图示液晶面板2的详细结构，也省略其说明。
[0095]背光源装置3具备:作为光源的发光二极管9 ;以及与发光二极管9相对配置的导光板10。另外，在背光源装置3中，利用截面为L字状的外框14以在导光板10的上方设有液晶面板2的状态夹持发光二极管9和导光板10。另外，在相对基板4上载置有箱体11。由此，与背