制造柔性显示设备的方法
【专利说明】
[0001] 本申请要求2013年11月04日提交的韩国专利申请No. 10-2013-0133009的优先 权，在此通过参考将其整体并入本文。
技术领域
[0002] 本申请设及一种制造柔性显示设备的方法。更具体地，本申请设及一种适合于增 强可靠性并减少在从支撑基板分离（剥离）柔性基板的工艺期间产生的故障的柔性显示设 备的制造方法。
【背景技术】
[0003] 目前，随着信息社会的发展，用于在视觉上表达电信息信号的显示器领域快速发 展起来。据此，已经发展出具有诸如纤薄、质量轻和低功耗的多种特征的各种平板显示设 备。而且，平板显示设备已经快速替代了现有的阴极射线管（CRT)。
[0004] 作为平板显示设备的实例，提出了液晶显示（LCD)设备、有机发光显示（0LED)设 备、电泳显示（电子纸显示巧PD))设备、等离子体面板设备（PDP)、场发射显示（FED)设备、 电致发光显示设备巧LD)、电润湿显示（EWD)设备等。该些平板显示设备通常包括实现图像 的平板显示面板作为必需部件。平板显示面板配置有彼此面对的一对组合基板，该对基板 间具有内在的发光或者偏振材料层。
[0005] 而且，随着显示设备的积极发展，需要显示设备具有与现有设计区分开的多样性、 增强的美学值、并提供有用的多种功能W供使用。一般，现有技术显示设备包括使用玻璃基 板等的平板。由于此，难W保证设计上的多样性。而且，平板使得主要观测区域及其中屯、部 分之间的距离与主要观测区域及其侧边部分之间的另一距离不同。换句话说，平板引起中 屯、部分和侧边部分相对于主要观测区域之间的距离偏差。
[0006] 为解决该个问题，开发了一种使用诸如塑胶材料等柔性材料的柔性显示设备。与 现有技术的平板显示设备不同，该柔性显示设备可设计成多种形状。该种柔性显示设备作 为能替代便携式计算机显示器、电子报纸、智能卡和诸如书、报纸、杂质等印刷媒体的下一 代显示设备吸引了公众的注意。
[0007] 随着显示设备增强了美学值并变得越来越薄越来越轻，必须使用多种材料。该样， 多种柔性基板被应用于显示设备。作为柔性基板的实例，可使用薄膜金属片、塑胶材料等。 由于其主要属性，该种柔性基板必须能很好地弯曲。由于此，难W将柔性基板应用到被设计 成用于玻璃和石英基板的现有显示设备制造装备中。主观上，该种柔性基板不能仅由轨道 装备或者机器人供应，而是也可被收纳到盒或盘中。
[000引如此，在形成元件之前必须将柔性基板贴附到支撑基板上。在形成元件期间，支撑 基板用于支撑柔性基板。在形成元件之后，柔性基板与支撑基板分离。
[0009] 具体地，柔性基板和支撑基板彼此贴附，其间具有牺牲层。通过对支撑基板背表面 照射激光束和处理牺牲层，将柔性基板自支撑基板剥离（或分离）。但是，由于在支撑基板 背表面上的外来物质导致牺牲层不能被激光束充分处理。
[0010] 由于此，由于外来物质导致与牺牲层未处理部分相对的一部分柔性基板和其上的 元件被损坏。换句话说，由于外来物质导致在牺牲层中保留有未处理部分。该样，与牺牲层 未处理部分相对的一部分柔性基板和元件会被损坏。据此，在柔性显示设备中会产生亮点 和/或暗点。
【发明内容】
[0011] 因此，本申请的实施例设及一种基本避免了由于现有技术的限制和不足导致的一 个或多个问题的柔性显示设备的制造方法。
[0012] 实施例提供了一种柔性显示设备的制造方法，其适合于增加介于柔性基板和支撑 基板之间的牺牲层的氨含量，并W双层结构和=层结构中的一种结构形成牺牲层从而容易 将柔性基板自支撑基板分离（或剥离）。
[0013] 而且，实施例提供了一种柔性显示设备的制造方法，其适合于通过形成对激光束 具有较佳反应特性的牺牲层和容易自支撑基板分离（或剥离）柔性基板而不管在支撑基板 上是否存在外来物质来增强可靠性。
[0014] 在下文的说明中将列出实施例的其他特征和优势，且根据该说明部分特征和优势 是显而易见的，或者可通过实践实施例获知。可通过所撰写的说明书及其权利要求W及所 附附图中特别指定的结构实现并获得实施例的优势。
[0015] 为了解决现有技术的上述问题，根据本实施例一般方面的一种柔性显示设备的制 造方法包括；形成牺牲层，该牺牲层形成在支撑基板上且被配置成包括至少一个阻挡层和 分离层；在具有牺牲层的支撑基板上形成第一基板；在第一基板上形成元件层；在元件层 上形成第二基板；和经由支撑基板将激光束照射到牺牲层上并将支撑基板与第一基板分 离。该阻挡层与分离层相比具有较高氨含量。
[0016] 一旦查阅了 W下附图和具体说明，其他系统、方法、特征和优势将会或者将会变得 对本领域技术人员显而易见。意指所有该种其他系统、方法、特征和优势都包括在本说明书 中，在本公开的范围内，并且受到W下的权利要求的保护。认为该部分中的内容都不作为对 权利要求的限制。下文结合实施例讨论进一步的方面和优势。将理解，本公开上文的一般 说明和下文的具体说明都是示意性和说明性的且意在提供所要求保护的本公开的进一步 解释。
【附图说明】
[0017] 本文包括附图W提供本发明的进一步理解，且附图结合到说明书中并构成说明书 的一部分，附图示出了本发明的实施例且与文字描述一起用于解释本发明的原理。在附图 中：
[0018] 图1至4是示出根据本公开实施例制造柔性显示设备的方法的截面图。
【具体实施方式】
[0019] 现在将具体参考根据本公开的实施例，其实例于附图中示出。提供下文引入的该 些实施例作为实例W将其精神传达给本领域普通技术人员。因此，该些实施例可体现为不 同形式，因此不限于本文描述的该些实施例。在附图中，可放大设备的尺寸、厚度等W便解 释。只要可w，在包括附图的本公开全文使用相同参考数字表示相同或相似部分。
[0020] 图1至4是示出根据本公开实施例制造柔性显示设备的方法的截面图。
[0021] 参考图1，柔性显示设备的制造方法允许将牺牲层100形成在支撑基板10上。牺 牲层100可通过CVD (化学气相沉积）工艺，诸如低压CVD工艺、等离子体CVD工艺或其他 CVD工艺形成。具有渗透性的支撑基板可由适合于传输光的透明材料形成。例如，支撑基板 10可由玻璃和石英中的一种形成，但是不限于此。换句话说，支撑基板10可由不同材料中 的一种形成，该材料适合于在形成元件的后续工艺期间支撑柔性基板。
[0022] 牺牲层100可吸收照射的光并允许内部粘附力和/或界面粘附强度减小或消失。 如此，形成在牺牲层100上表面和下表面上的层可容易彼此剥离（或分离）。优选地，在能 够将牺牲层两个表面上的两层彼此剥离（或分离）之前，通过照射光从牺牲层100释放气 体。具体地，照射光不仅能使牺牲层100中包含的成分被蒸发和释放还能使牺牲层100产 生内部压力。牺牲层100的内部压力用作将牺牲层100的上下表面层彼此分离的分离力。
[0023] 自牺牲层100释放的气体可W是氨气。换句话说，在牺牲层100中含有的氨被蒸 发并促进牺牲层100的分离。随着牺牲层100的氨含量增加，牺牲层100的折射系数和密 度降低。如此，牺牲层100变为多孔膜。当稍后执行使用牺牲层100的分离工艺时，牺牲层 100增加的氨含量会减少由外来物质引起的缺陷（或故障）。
[0024] 为了增加氨含量，牺牲层100可形成为双层结构和=层结构中的一种结构。优选 地，牺牲层100可通过叠置第一阻挡层101、分离层102和第二阻挡层103形成。尽管如图 中所示，牺牲层100形成为=层结构，但是其不限于此。替换地，牺牲层100可形成为双层 结构。换句话说，可自牺牲层100去除第一阻挡层101和第二阻挡层103中的一个。
[0025] 牺牲层100的分离层102可W是非晶娃（a-Si)层。包括娃烧Si&和氣Ar的第 一气体用于沉积分离层102。替换地，包括娃烧SiH4和氨化2)的第二气体可用于沉积分离 层102。与包括娃烧Si&和氣Ar的第一气体相比，包括娃烧SiH 4和氨H 2的第二气体可形 成具有更高氨含量的分离层102。
[0026] 牺牲层100的第一阻挡层101和/或第二阻挡层103可形成为具有比分离层102 更高的氨含量。为了沉积第一和/或第二阻挡层101和/或103,可使用包括娃烧Si&、氨 &和磯化氨PH 3的第S气体。与包括娃烧SiH 4和氨H 2的第二气体相比，包括娃烧SiH 4、氨 &和磯化氨PH 3的第S气体可形成具有至少20%的更高氨含量的层。
[0027] 可形成约500A?IOOOA厚度范围的分离层102。可形成约lOOA?300A的另一 厚度范围的第一阻挡层101和/或第二阻挡层103。而且，第一阻挡层101、分离层102和 第二阻挡层103可在相同腔室内形成。换句话说，可在相同腔室内通过仅改变注入到腔室 内的不同种类