液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对被记录介质喷射液滴而记录的液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置。
【背景技术】
[0002]近年来，使用对记录纸等吐出墨滴而记录字符、图形的、或者对元件基板的表面吐出液体材料而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式中，经由供给管将墨、液体材料等液体从液体罐引导至通道，对填充在通道中的液体施加压力而作为液滴从与通道连通的喷嘴吐出。在吐出液滴时，移动液体喷射头或被记录介质而记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜或3维构造。
[0003]专利文献I中记载有这种液体喷射头。图9是液体喷射头的截面示意图(专利文献I的图2)。液体喷射头具备吐出墨滴的头片110 ;以及向头片110供给墨的墨歧管构件120。头片110具备通道部115。通道部115被由压电体构成的未图示的两个驱动壁、下部及上部基板111、113、背面板119及喷嘴板118包围。墨歧管构件120具备墨流路121和上表面包持部122a，上表面包持部122a覆盖头片110的上部基板113而与头片110的背面板119接合。流入墨流路121的墨经由背面板119的墨引入口 119a而供给通道部115。当通道部115的驱动壁驱动时墨滴会从喷嘴孔118a吐出。
[0004]在上部基板113设置有沿板厚方向贯通的导电性构件117b。导电性构件117b与设置在驱动通道部115的驱动壁的驱动电极电连接。上表面包持部122a具备沿板厚方向贯通的电极123，电极123设置在与导电性构件117b对应的位置。电极123经由形成在上部基板113的上表面的电极117c与导电性构件117b电连接。电极123进一步与形成在上表面120a的电极124电连接，并引出到背面120b。因此，用于驱动驱动壁的驱动波形，输入到背面120b的电极124，经由设置在上表面包持部122a的电极123和设置在上部基板113的导电性构件117b，向驱动壁的驱动电极供给。
[0005]另外，在专利文献2中，记载了填充有墨的吐出用槽和未填充墨的非吐出用槽交替排列的喷墨装置。喷墨装置具备:在上表面交替形成吐出用槽和非吐出用槽的压电陶瓷板；以及堵住吐出用槽和非吐出用槽这两种槽的上表面开口并接合的盖板。吐出用槽不贯通压电陶瓷板，因而上下方向被堵塞。非吐出用槽从压电陶瓷板的上表面贯通到下表面，因而，上方被盖板堵塞，下方朝压电陶瓷板的下表面开口。在吐出用槽的两侧面，金属电极从上表面形成到槽的一半深度。在非吐出用槽的两侧面、盖板的压电陶瓷板侧的下表面和压电陶瓷板的下表面的整个面形成有金属电极。因此，形成在多个非吐出用槽的金属电极全部电连接。而且，将非吐出用槽的金属电极连接到GND，向吐出用槽的金属电极提供驱动波形，驱动吐出用槽与非吐出用槽之间的隔壁，从与吐出用槽连通的喷嘴吐出墨滴。
[0006]专利文献1:日本特开2002 - 210955号公报专利文献2:日本特开平7 - 178903号公报。
【发明内容】
[0007]在专利文献I记载的液体喷射头中，通过非电解镀敷法在通道部115的内部形成驱动电极，在上部基板113开通贯通孔，填充银膏等而填充导电性构件117b，进而在上部基板113的上表面形成电极117c。另外，在上表面包持部122a也开通贯通孔而填充电极123，将电极124的图案从墨歧管构件120的上表面120a形成到背面120b。因此，电极形成变得极为复杂。另外，通道部115沿图9的进纸方向排列多数，当接合头片110和墨歧管构件120时，使多个电极117c和多个电极123高精度对位，同时必须进行电连接，组装变得极为響每系 TTs O
[0008]另外，在专利文献2记载的喷墨装置中，不能同时形成吐出用槽的侧面的金属电极和非吐出用槽的侧面及压电陶瓷板的下表面的金属电极。因此，需要多次的电极形成工序。特别是，在吐出用槽的两侧面需要通过斜蒸镀法形成金属电极，电极形成需要较长时间。
[0009]本发明的液体喷射头的制造方法，包括:槽形成工序，在促动器基板的上表面沿基准方向交替形成吐出槽和非吐出槽；盖板加工工序，在盖板的上表面形成凹部和从所述凹部的底面贯通到所述盖板的下表面的狭缝；基板接合工序，将所述盖板的下表面接合于所述促动器基板的上表面，使所述狭缝和所述吐出槽连通；以及电极形成工序，在所述吐出槽的侧面、所述非吐出槽的侧面、所述狭缝的内侧面及所述凹部的内表面同时形成导电膜。
[0010]另外，所述基板接合工序是使所述促动器基板的上表面的一部分和所述非吐出槽的一部分露出而将所述盖板接合于所述促动器基板的工序，所述电极形成工序是在所述促动器基板露出的上表面同时形成导电膜的工序。
[0011]另外，所述电极形成工序是通过镀敷法形成所述导电膜的工序。
[0012]另外，所述盖板加工工序包含将所述盖板的上表面加工成镜面，将所述凹部的内表面及所述狭缝的内侧面加工成粗糙面的工序。
[0013]另外，所述盖板加工工序包含将所述盖板的下表面加工成镜面的工序。
[0014]另外，所述槽形成工序是与所述非吐出槽并排地形成布线用槽的工序，
所述盖板加工工序是在所述盖板的上表面进一步形成与所述凹部连通的附加凹部和从所述附加凹部的底面贯通到所述盖板的与上表面相反侧的下表面的附加狭缝的工序，所述基板接合工序是使所述附加狭缝和所述布线用槽连通的工序，所述电极形成工序是在所述布线用槽的内表面、所述附加凹部的内表面及所述附加狭缝的内侧面同时形成导电膜的工序。
[0015]另外，所述盖板为透光性的基板。
[0016]本发明的液体喷射头，包括:促动器基板，沿基准方向交替排列吐出槽和非吐出槽；以及盖板，与所述促动器基板接合，在上表面具备凹部和从所述凹部的底面贯通到下表面并与所述吐出槽连通的狭缝，其中，在所述吐出槽的侧面形成有共同驱动电极，在所述非吐出槽的侧面形成有个别驱动电极，在所述狭缝的内侧面及所述凹部的内表面形成有共同布线，形成在多个所述吐出槽的所述共同驱动电极经由所述共同布线电连接。
[0017]另外，所述非吐出槽从所述促动器基板的一侧的端部遍及另一侧的端部而形成，所述吐出槽从所述促动器基板的一侧的端部形成到另一侧的端部的跟前，所述盖板以使所述吐出槽与所述狭缝连通的方式接合到促动器基板的上表面，在所述促动器基板的上表面的另一侧的端部附近形成有个别端子，所述个别端子电连接形成在夹着所述吐出槽而邻接的两个所述非吐出槽的两个所述个别驱动电极。
[0018]另外，所述凹部的内表面及所述狭缝的内侧面为粗糙面。
[0019]另外，所述促动器基板具备:形成在所述基准方向的端部附近的布线用槽；形成在所述布线用槽的内表面的布线用电极；以及形成在所述布线用槽开口的上表面的共同端子，所述盖板具备:与所述凹部连通的附加凹部；从所述附加凹部的底面贯通到下表面并与所述附加凹部连通的附加狭缝；以及形成在所述附加凹部的内表面和所述附加狭缝的内侧面的附加布线，所述共同端子经由所述布线用电极和所述附加布线而与所述共同布线电连接。
[0020]另外，所述促动器基板具备与所述个别驱动电极电连接的个别端子和与所述共同布线电连接的共同端子，所述共同端子形成在所述促动器基板的上表面的所述基准方向的端部侧，所述个别端子在所述促动器基板的上表面的所述基准方向上比所述共同端子更靠近内部侧形成。
[0021]另外，所述盖板为透光性的基板。
[0022]本发明的液体喷射装置，包括:上述液体喷射头；使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
[0023]本发明的液体喷射头的制造方法，包括:槽形成工序，在促动器基板的上表面沿基准方向交替形成吐出槽和非吐出槽；盖板加工工序，在盖板的上表面形成凹部和从凹部的底面贯通到盖板的下表面的狭缝；基板接合工序，将盖板的下表面接合到促动器基板的上表面，使狭缝和吐出槽连通；以及电极形成工序，在吐出槽的侧面、非吐出槽的侧面、狭缝的内侧面及凹部的内表面同时形成导电膜。其结果，形成在多个吐出槽的导电膜经由形成在狭缝的内侧面及凹部的内表面的导电膜而电连接，从而使得电极形成工序极为简化。
【附图说明】
[0024]图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的说明图；
图2是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的说明图；
图3是示出本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图；
图4是示出本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图；
图5是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图；
图6是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图；
图7是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图；