保持具、保持具单元及刻划装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在玻璃基板等脆性材料基板的分断过程中在脆性材料基板的表面上形成划线时使用的保持具、保持具单元及刻划装置。
【背景技术】
[0002]当将玻璃基板等的脆性材料基板分断为所希望尺寸时，通常使用刻划装置。该刻划装置在保持具上安装刻划轮而使用，所述保持具用于保持刻划轮。此外，该刻划轮通过将圆柱状的销轴插入形成于保持具的保持部的销孔与形成于刻划轮的侧面的贯通孔而保持于保持部之间(保持槽)。
[0003]于是，安装于保持具的刻划轮被旋转自由地保持，通过边旋转边前进于脆性材料基板的表面，从而在脆性材料基板上形成划线。此外，作为这样的刻划装置，例如有由专利文献I所述的刻划装置。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本国际专利公开W02007/063979号公报
【发明内容】
[0007]发明要解决的技术问题
[0008]安装于保持具的刻划轮为了如上述形成划线而需要在保持槽旋转。因此，保持槽的宽度比刻划轮的厚度稍宽，从而刻划轮与保持部之间确保有间隙。具体而言，在刻划轮的厚度为0.65mm的情况下，保持槽的宽度变宽了 0.02mm左右。如此，由于刻划轮与保持部之间存在间隙，因此刻划轮旋转自由地保持于保持部上。
[0009]另一方面，通过该间隙，导致刻划轮能够在保持具槽内沿着销轴进行0.02mm左右的移动。因此，当形成划线时，由于刻划轮沿销轴方向移动，使得划线的形成位置变得不稳定，在以往的刻划装置中，划线偏离所希望的位置已经成为了技术问题。
[0010]本发明的目的在于，鉴于通过上述刻划轮在销轴方向移动而导致划线的形成位置偏离的问题，本发明提供使划线的形成位置稳定，不产生划线从所希望位置的偏离的保持具、保持具单元及刻划装置。
[0011 ]用于解决技术问题的方案
[0012]为了达成上述目的，本发明的保持具包括:主体部；一对保持部，形成于所述主体部的下方；以及销孔，位于同轴上并分别形成于所述保持部，所述保持具借助贯通刻划轮的贯通孔并插入穿过所述销孔的销轴，将所述刻划轮旋转自由地保持在所述保持部之间，其特征在于，所述保持部上形成有通气孔，所述通气孔用于当所述保持部保持所述刻划轮时，向与所述刻划轮的侧面相对的位置排出或吸入空气。
[0013]根据本发明的保持具，通过刻划轮在被保持部保持的状态下经由通气孔排出或者吸入空气，则由于刻划轮与保持部之间的间隙限制刻划轮向销轴方向的移动。因此，保持具能够使划线的形成位置稳定。
[0014]此外，本发明的保持具，其特征在于，所述通气孔仅形成于一对所述保持部中的一方。
[0015]根据本发明的保持具，由于刻划轮被吸引向一对保持部中的一个所述保持部上，因此更限制刻划轮向销轴方向的移动。因此，保持具能够使划线的形成位置稳定。
[0016]此外，本发明的保持具，其特征在于，所述通气孔与形成在所述保持部的外侧侧面的侧面通气通道连接，所述侧面通气通道与形成在所述主体部的内部的主体通气通道连接。
[0017]根据本发明的保持具，与通气孔连接的通气通道能够简单地通过保持具的加工而形成。
[0018]此外，本发明的保持具，其特征在于，所述销孔兼作为所述通气孔。
[0019]根据本发明的保持具，由于在销孔内产生空气流动，因此能够防止形成划线时产生的玻璃肩附着于销轴。此外，由于刻划轮的中央部产生空气的流动，从而抑制划线过程中的刻划轮倾斜。
[0020]此外，本发明的保持具单元具有保持具。所述保持具包括刻划轮;销轴，贯通所述刻划轮的贯通孔；以及保持具，所述保持具具有:主体部;一对保持部，形成在所述主体部的下方，保持所述刻划轮；以及销孔，位于同轴上，并分别形成于所述保持部，所述销轴插入穿过所述销孔，所述保持具单元的特征在于，所述保持部形成有通气孔，用于向与所述刻划轮的侧面相对的位置排出或吸入空气。
[0021]根据本发明的保持具单元，经由通气孔排出或吸入空气，由于刻划轮与保持部之间的间隙，限制刻划轮向销轴方向的移动。因此，保持具单元能够使划线的形成位置稳定。
[0022]此外，本发明的保持具单元，其特征在于，所述通气孔仅形成于一对所述保持部中的一方。
[0023]根据本发明的保持具单元，由于刻划轮被吸引向一对所述保持部中的一个所述保持部上，更加限制刻划轮向销轴方向移动。因此，保持具单元能够使划线的形成位置稳定。
[0024]此外，本发明的保持具单元，其特征在于，所述通气孔与形成在所述保持部的外侧侧面的侧面通气通道连接，所述侧面通气通道与形成在所述主体部的内部的主体通气通道连接。。
[0025]根据本发明的保持具单元，连接通气孔的通气通道能够简单地通过保持具的加工而形成。
[0026]此外，本发明的保持具单元，其特征在于，所述侧面通气通道的表面被固定于所述保持部的外侧侧面的止动件闭塞。
[0027]根据本发明的保持具单元，能够比用树脂或熔接等更简单地闭塞侧面通气通道的表面。此外，该止动件也能够作为防止销轴脱落而利用。
[0028]此外，本发明的保持具单元，其特征在于所述通气孔兼作为所述销孔。
[0029]根据本发明的保持具单元，由于在销孔内产生空气流动，能够防止形成划线时产生的玻璃肩附着于销轴。此外，通过刻划轮的中央部产生空气的流动，抑制划线过程中的刻划轮的倾斜。
[0030]此外，本发明的刻划装置，其特征在于，包括上述保持具，并且具有通过所述通气孔进行空气的排出或吸入的吸气排气部。此外，本发明的刻划装置，其特征在于，包括上述保持具单元，并且具有通过所述通气孔进行空气的排出或吸入的吸气排气部。
[0031]根据本发明的刻划装置，经由吸气排气部进行空气的排出或者吸入，由于刻划轮与保持部之间的间隙，限制刻划轮向销轴方向的移动。因此，刻划装置能够使划线的形成位置稳走O
【附图说明】
[0032]图1是实施方式一的刻划装置的概略图。
[0033]图2的(A)是实施方式一的保持具单元的主视图，图2的(B)是保持具单元的侧面图。
[0034]图3的(A)是构成实施方式一的保持具单元的保持具的主视图，图3的(B)是保持具的侧面图，图3的(C)是图3的(B)中IIIC-1IIC线的截面图。
[0035]图4的(A)是图3的(B)的区域P的放大图，图4的(B)是由图4的(A)示出位置的下方侧观察的立体图，图4的(C)是图4的(A)的IVC-1VC线的截面图。
[0036]图5是实施方式二的保持具的主要部分放大侧面图。
【具体实施方式】
[0037]以下，根据附图对本发明的实施方式进行说明。但是，以下示出的实施方式是示出用于使本发明的技术方案具体化的一个例子，目的并不在于通过该实施方式限定本发明。本发明也能够适用于包含在权利要求内的其他实施方式。
[0038][实施方式一]
[0039]图1是本发明的实施方式的刻划装置I的概略图。刻划装置I包括移动台10。移动台10与滚珠螺杆11螺合，通过马达的驱动来使该滚珠螺杆11旋转，从而可沿着一对导轨12移动于y轴方向。
[0040]在移动台10的上表面设置马达13。马达13用于使位于上部的桌台14以xy平面旋转而将所述桌台定位于预定角度。通过马达13可水平旋转的桌台14包括未图示的真空吸附单元，通过该真空吸附单元保持载置于桌台14上的脆性材料基板15。
[0041 ]该脆性材料基板15为玻璃基板、由低温烧成陶瓷或高温烧成陶瓷构成的陶瓷基板、硅基板、化合物半导体基板、蓝宝石基板、和石英基板等。此外，脆性材料基板15可以使薄膜或者半导体材料附着或被包含于基板的表面或内部。并且，脆性材料基板15的表面也可以附着不与脆性材料对应的薄膜等。
[0042]刻划装置I包括两台CCD照相机16，在载置在桌台14上的脆性材料基板15的上方，用于拍摄在该脆性材料基板15的表面形成的对准标记。桥架17被支柱18a和18b架设，使得横跨移动台10与其上部的桌台14。
[0043]桥架17安装有导引件19，刻划头20设置成被该导引件19引导而沿X轴方向移动。刻划头20的下端安装有使刻划轮40保持于保持具60上的保持具单元30。
[0044]在此，概略地说明使用刻划装置I在脆性材料基板15上形成划线的工序。首先，在被安装在刻划头20的保持具60上安装有刻划轮40。然后，刻划装置I通过一对CCD照相机16确定脆性材料基板15的位置。接着，刻划装置I使刻划头20向预定的位置移动，对刻划轮40施加预定的负荷而使其接触于脆性材料基板15。于是，刻划装置I通过使刻划头20沿X轴方向移动，从而在脆性材料基板15的表面形成预定的划线。此外，刻划装置I根据需要不旋转桌台14而沿y轴方向移动，并与上述情况相同而形成划线。
[0045]接着，使用附图详细说明保持具单元30。图2的(A)是保持具单元30的主视图，图2的(B)是保持具单元30的侧面图。此外，图3的(A)是构成保持具单元30的保持具60的主视图，图3的(B)是保持具60的侧面图，图3的(C)是图3的(B)中沿IIIC-1IIC线的截面图。此外，图4的(A)是图3的(B)由点划线围成的区域P的放大图，图4的(B)是由图4的(A)