用于光学元件的真空吸附抓取机构及其控制方法技术资料下载

技术编号:9934434

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本发明涉及高能量固体激光装置领域,具体涉及一种。背景技术高能量固体激光装置包括有数千个独立功能的光机单元、数万个各类精密光学元件,装置的安全、可靠运行要求这些大口径光学元件实现高精度、高洁净度安装。由于这些光学元件口径越来越大,重量越来越重,并且未来下一代高能量固体激光装置需要更大量的大口径大重量的光学元件,目前我国采用人工装配大口径光机单元的方法,洁净度低、安全性可靠性差,同时劳动强度大、生产效率低,已经不能满足大量大口径大重量光学元件的装配需求,所以迫...
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