技术编号:9713766
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。压电设备发现许多作为电机械致动器和换能器的应用。压电设备可以进一步被分类为使用块体压电材料或压电薄膜。块体压电材料一般具有超过20微米(μπι)的厚度,且通常大大超过50μπι,而薄膜设备使用厚度小于15μπι的压电膜。—般来说,在给定强度的电场下的压电材料的物理位移是压电膜厚度的函数。图1中示出了现有技术中的用于增加块体压电设备100的位移的一种技术。块体设备100使用多个块体压电材料平板135A、B、C(例如每个平板厚度以交替方式与多个电极110、12...
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