技术编号：9525547
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 随着科技日新月异，半导体光电元件在资讯的传输以及能量的转换上占有极大的 贡献。例如，半导体光电元件可应用于许多不同的系统，包括光纤通讯、光学存储及军事系 统等。一般现有的半导体光电元件的制作工艺包含提供晶片、外延成长、薄膜成长、扩散 \离子注入、黄光步骤以及蚀刻等步骤。 在上述各种制作过程之中，外延成长步骤大多是通过化学气相沉积（chemical vapordeposition，CVD)系统或分子束外延（molecularbeamepitaxy，MBE)...
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