技术编号:9493499
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种。背景技术 在尺寸测量技术中对于使用坐标测量仪的情况必须提供测量能力证明,特别是精 度证明。在工业测量技术中,待测量的测量对象,例如工件典型地是三维体。对于借助于坐 标测量仪的触觉三维测量技术,例如在DINENISO10360中描述了一种校准装置。 除了该触觉测量技术(即依据机械探测的测量技术)之外,也存在光学测量技术, 其中,测量对象被光学测量。但是对于该光学测量技术,在微米精度范围内仅仅存在二维的 校准方法,所述校准方法例如由半导体工业...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。