一种微结构阵列器件制造方法技术资料下载

技术编号:9256694

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微结构一般是由大量微小单元的重复组合,微小单元一般分布在平面基底上。功 能性微结构在先进光学系统中应用广泛,可借助周期性结构缩减系统尺寸,并达到意想不 到的特殊功能。比如微透镜阵列可以将手机镜头厚度从3毫米左右缩短到几百微米,同时 可以装配于普通镜头中极大地提高成像系统景深。微棱镜阵列由一系列微小四面棱锥组 成,具有高效逆反射光性能,广泛应用于交通警示牌的制作。 为了配合更大范围的应用,对于微结构器件的尺寸需求越来越大,同时应用中需 要每个微单元应具有高...
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