技术编号：9113688
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前我国的光电探测倍增技术还处于研发阶段。微通道板作为一种大面阵微通道电子倍增器，作为一种对二维空间分布的电子流进行倍增的元件。目前被广泛运用在X射线、γ射线、极紫外线带电粒子的探测和电子倍增器件。微通道的一个通道管就是一个打拿极电子增强器，微通道的阵列组合就构成了增强器。将两端加一定电压，即可得到电子增益。制作平面硅微通道的技术主要包括氧化、光刻、光辅电化学刻蚀，最终形成平面硅微通道。平面硅微通道板可以运用在X射线、γ射线、带电粒子等探测和电子倍增器件，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。