技术编号：8513932
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。采用双腔结构的准分子激光器中一个腔称之为主振荡腔(MO腔)，另一个称之为放大腔(PA腔)。MO腔产生的种子光需要在时序上精确地(抖动小于±5ns)传到PA腔，此时PA腔放电激励将来自于MO腔的种子光能量放大。因此这就需要对两个放大腔的放电时序进行精确地控制。对于双腔准分子激光电源来讲，对腔体实现同步放电，就需要有双腔准分子激光器同步控制技术把双腔放电抖动控制在±5ns之内。双腔准分子激光器放电抖动主要是由(I)双腔电源起始放电电压抖动、⑵放电腔内的随机抖动...
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