技术编号：8221870
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，简称 MEMS)是一种在融 合多种微细加工技术，利用从半导体技术中发展而来的成熟技术，MEMS器件可进行大批量、 低成本生产。另外，MEMS器件普遍具有体积小，稳定性好等特点，在航空航天、汽车制造等 多个领域中广泛应用。谐振式微机械压力传感器的输出检测信号由谐振器的振动频率信号 直接转换而成，相对于电容式、电阻式和压电式等输出的幅度信号（主要是电压幅值），频 率信号具有更高...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。