技术编号:8177922
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及射频电源,尤其是涉及一种射频信号相位可数字式调节的射频电源。背景技术射频电源是用于产生射频功率信号的装置,属于半导体工艺设备的核心部件,所有产生等离子体进行材料处理的设备都需要射频电源提供能量。在集成电路、太阳能电池和LED (Light Emitting Diode,发光二极管)的工艺制造设备,例如刻蚀机、PVD (PhysicalVapor Deposition,物理气相沉积)、PECVD(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气...
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