技术编号：8053607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种密封性好的单晶炉炉体，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。背景技术单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、上炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。以往的上炉体和下炉体之间连接时，是将下炉体顶部设置成凸台状，再将上炉体直接盖在下炉体顶部，这样便完成了固定。然而这样固定的上炉体和下炉体之间的密封性较差，炉体内的热气容易溢出，影响了单晶硅的生产。发明内容本发明的目的在于克服上述不足，...
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