技术编号：7244078
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种肖特基势垒元件，包括半导体基材、第一接触金属层、第二接触金属层和氧化层。半导体基材具有相对的第一表面和第二表面，于第一表面处具有多个沟槽，每沟槽包括第一凹槽具有第一深度和第二凹槽具有第二深度，第二凹槽自第一表面向下延伸，第一凹槽于第二凹槽中往下延伸，使第一深度大于第二深度。第一接触金属层，至少形成于第二凹槽。第二接触金属层形成于相邻两沟槽之间的第一表面上。氧化层形成于第一凹槽。其中，第一接触金属层与半导体基材形成第一肖特基势垒，第二接触金属层与半导体基...
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