技术编号：7232488
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及矩形真空闸阀，更具体地说，涉及一种具有改进 的驱动动作的矩形真空闸阀，其中，第一引导槽精确地引导阀的向上和 向下的运动，而上端弯曲的倒7'形的第二引导槽精确地引导阀的向前和向后的运动，这样，可靠地实现了主轴的L形两级驱动动作。背景技术在由本发明的申请人提交的韩国专利申请No. 10-2003-0071906 (发 明名称间缝阔(slitvalve))中提出了一种间缝阀，该间缝阀构造成 使得围绕晶片移动通道布置的密封件的结构得以改进，从而防止...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。