技术编号：7145965
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示器件制造技术，尤其涉及薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板和显示器件。背景技术OTFT (Oxide Thin Film Transistor,氧化物薄膜晶体管)技术最初的研究是为了降低有源显示器件的能耗，令显示器件更薄更轻，响应速度更快而研发的技术。大约在二十一世纪初开始走向试用阶段。图1为现有技术中薄膜晶体管的结构示意图。现有技术通过6次曝光掩模(Mask)工艺在玻璃基板10上依次形成栅极11、栅绝缘层12、半导体有源层13、刻蚀阻挡层14、...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。