技术编号：6986515
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及蓝色发光二极管、蓝色激光二极管等，尤其涉及在蓝宝石等绝缘性基板上具有外延生成的氮化物系化合物半导体的发光元件及其制造方法。背景技术 蓝色发光二极管、蓝色激光二极管等中使用的氮化物系化合物半导体的外延生成通常是在和氮化物系化合物半导体晶格共格的蓝宝石(Al2O3)基板上进行的。使用了氮化物系化合物半导体的蓝色系半导体元件的基本结构为例如图23所示的结构。即，在蓝宝石基板210上例如设置由AlxGa1-xN(0≤X≤1)构成的缓冲层220，在该缓冲层...
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