技术编号：6922584
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路处理，特别涉及耦接工件的静电夹持装置以及在耦 接中降低工件污染的方法。背景技术在集成电路处理系统中，静电卡盘广泛用于支撑/固持晶片，以进行例 如离子注入等处理。静电卡盘包括卡盘本体，卡盘本体内具有至少一个电极。 当电压施加于电极上时，会在邻近卡盘本体的表面产生电场，使得晶片可被夹持至表面以被保持。此表面可包括有称为台面(mesa)的浮雕部，以支撑 晶片并减少与晶片的物理接触。在夹持中，被夹持的晶片的背面与静电卡盘的卡盘表面(例如台面)进行...
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