技术编号：6901704
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及可以当作第ni—v族氮化物类半导体构成的发光二极管(LED)以及半导体激光装置(LD)等发光元件的基板使用的单晶氮化镓 (GaN)基板、构成单晶氮化镓基板制造基础的氮化镓的生长方法、以及 单晶氮化镓基板制造方法。背景技术采用氮化物类半导体的发光半导体装置业已实际使用，具代表性的有 蓝色LED。以往，采用DHW类半导体的发光半导体装置几乎都是用绝缘 性蓝宝石。蓝宝石非常坚固，是化学性质和物理性质都稳定的基板材料。 具有可以在其上进行取向生长氮化镓晶...
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