技术编号:6901685
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造高集成度半导体存储装置的方法,更具体 地说,涉及一种形成半导体存储装置的单元阵列中所包括的多个单位 单元及位线的方法。背景技术一般来说,在根据导电率对材料分类的情况下,半导体为这样 一种材料其属于介于导体与非导体之间的材料种类。虽然半导体类 似于处于无掺杂状态的非导体,但通过添加杂质或其它操作可增加半 导体的导电率。在半导体中添加杂质,然后将半导体连接至导体从而用于制造诸如晶体管等半导体器件。半导体装置指一种由半导体器件 形成的具有各种功...
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