技术编号：6882621
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种晶粒挑捡装置，特别是有关于利 用置放机台与顶出装置各进行一轴之动作，达到整体装 置空间配置上的缩小，及提升生产效率，并利于装置的 维护。背景技术请一并参阅图l及图2,图l为习知的晶粒挑捡装置， 图2为习知晶粒挑捡装置作动示意图。在图1中，此习 知的晶粒挑捡装置具有一晶圆机台11及一顶针机构12， 其中晶圃机台11更具有一晶圆放置架111，用以放置一 切割后的晶圓(图未示)，且在晶圆机台11底部具有一 X 轴方向线性滑轨112以及一 Y轴方向...
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