技术编号：6503945
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种，其中所述半导体批次产品的处理系统包括若干批次产品；处理站点；关键批次产品到达时间预测单元；机台端口下一次可用时间预测单元；约束检查单元和分配单元。所述分配单元根据关键批次产品到达时间预测单元获得的关键批次产品到达处理站点的时间间隔和机台端口下一次可用时间预测单元获得的处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算约束检查单元获得的各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。本发明的缩短了关键批次产品等待...
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