技术编号：6122381
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有集成栽荷单元的化学药品存储设备背景技术多种化学药品可用作半导体工业中化学气相沉积的前体。 一般地，用 于在晶片上形成膜或层的前体为在室温下具有较低蒸汽压的液体(在室温下<500托)。当前，前体材料被存储在密封和密闭的钢(根据前体特征为 不锈钢、碳钢或者其它专用合金)罐中。可在化学气相沉积腔附近，这里 随着每个罐用完，所述罐被周期性替换，或者所述罐用于大体积再装系统 中，所述系统在使用罐的位置提供自动填充罐的源。至少有两个原因可以解释为什么监测存储...
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