技术编号:6099161
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电气测量技术,并且特别涉及为孤立的和/或远程表面或结构(例如浮动平板离子监视系统的离子收集平板单元)提供电压测量和预充电的电气测量方法和装置。 背景技术 浮动平板离子监视系统一般用于测量半导体制造工业中所用室内空气离子化系统的有效性和效率,从而减少或消除制造过程中电荷灵敏半导体或LCD(液晶器件)上的电荷积累。众所周知,如果不能控制或消除电荷敏感半导体元件(金属氧化物半导体门列阵、数字存储器或逻辑单元或利用TFT器件(薄膜晶体管)的LCD器件)上...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。