技术编号：5982464
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体电阻率测试与测量领域，具体涉及一种自动切换量程和自动修正半导体电阻率的测试仪。背景技术目前，超大规模集成电路正向越来越高的集成度发展。同时对半导体材料电阻率的测量与技术提出了更高的要求，从而确保生产流程的顺利进行，提高成品率，降低成本。与此同时，为了满足公司发展的需要，集成电路的发展越来越快，开发周期越来越短、产品性能越来越高。因此，不仅要完善设计工具和制造能力，也需要可靠的检测手段，确保生产出的器件万无一失。直流四探针检测方法和技...
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