技术编号：5957748
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于激光应用，主要涉及ー种基于小频差与光束分离的激光外差干涉测量方法与装置。背景技术激光外差干涉测量因其具有抗干扰能力强、測量范围大、信噪比高和易于实现高精度等特点而被广泛应用于超精密加工、光刻机以及三坐标测量机等领域。随着超精密エ程的不断发展，对加工精度和生产效率提出越来越高的要求；同时也对外差干涉测量的测量精度、分辨率和速度都提出了新的挑战。 在激光外差干涉测量中，非线性误差严重限制了測量精度和分辨率的进ー步提高，国内外学者对激光外差干涉非线性误...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。