技术编号:5830888
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于测定压力变动波形的传感器,特别地涉及阵列型电容式 传感器。背景技术一般,作为测定压力的传感检测方式,除了利用应变电阻元件的传感检 测方式之外,还已知利用电容元件的传感检测方式。在利用电容元件的传感 检测方式中,由于与所述应变电阻元件相比,传感器元件的结构简单,因此 具有无需利用需要高额制造成本的半导体制造工艺,就能够廉价地制造的优点。作为利用该电容元件的传感检测方式,例如有非专利文献1所述的触觉传感器和非专利文献2所述的触觉传感器。由于这些是...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。