技术编号:5819480
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于装载扩散磷源的源瓶,特别涉及太阳能电池制作过程中用于装载扩散磷源的源瓶。背景技术扩散工序是太阳能电池生产过程中的一个核心工序,其是在硅晶体表面进行扩散形成PN结,在这一工序中是将源瓶中的磷源以气体的形式经出气管引入到石英炉中进行扩散反应。在扩散工序中常用的是三氯氧磷液态源扩散,将液态三氯氧磷装载在源瓶中。现有的源瓶包括瓶体、设置在瓶体上的进气管和出气管,在需要测量温度时,必须在灌入三氯氧磷前或取出源瓶后测量温度,碰到有毒、易挥发和温度...
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