技术编号：5751540
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械、半导体和化学领域，尤其涉及阀门更换装置。 背景技术在集成电路制造过程中，需使用各种管路输送化学品，由于安全需要，所述化学品 通常需密闭传输，传输化学品的管路通常用阀门连接。在长期使用后，由于化学品的腐蚀、 堵塞或老化等原因，阀门可能发生故障而需要更换。在更换阀门前，一般需要将阀门连接的 管路内的压强降低至管路外的压力，即进行卸压，否则在拆卸阀门时可能会有管路内的残 余化学品溶液进出，造成事故。目前在卸压时，通常先吹扫管路，然后使用洁净布...
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