技术编号：5508753
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种借助一个结构非常紧凑的旋转对称的往复活塞系统封闭容器或成形或压制半成品的设备，它包括一个运动的工作活塞和一个运动的增强活塞，它们分别在缸内导引。工作活塞水力驱动而增强活塞气动驱动，两者通过处于一个在工作缸的底面与增强活塞的端面之间空腔内的流体沿轴向直接作用连接。工作活塞端面至少构成容器盖的一部分或与容器的盖刚性连接，或工作活塞的端面构成工具或与工具刚性连接。背景技术 在半导体生产、光电子工业和在其他工业分支中总是发展多种产品，它们借助或基于微...
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