技术编号：5423264
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于蠕动泵设计领域，特别涉及一种面内模态周向行波薄型压电蠕动泵。 背景技术目前电子产品日益轻薄短小，元件密度愈来愈高、工作速度愈来愈快，“散热”问题 已成为电子产品可靠性与使用寿命最难克服的技术瓶颈。微型泵作为微流量系统的核心， 在药物微量输送、燃料微量喷射、细胞分离、集成电子元件冷却、微量化学分析以及微小型 卫星的推进等多个领域得到广泛应用。压电蠕动泵为微型泵的一种，属于新型流体驱动装置，它是通过复合振子在交流 电压的作用下发生面内交替变形，从而交...
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