技术编号：5266952
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，属于微机电系统(MEMS)制造领域，涉及一套基于阳极键合原理的微型气室封装专用设备的设 计与制造以及微型气室封装的相关工艺技术，特别涉及微型铷(Rb)原子气室 封装的专有工艺技术。微型铷原子气室是制造微型原子钟、微型磁力计等新概 念器件的核心部件；这些器件在现代高科技领域有广泛的应用前景。 背景技术现代制造技术的发展，使得"微系统"的概念早己被提出来。信息传感、 存储与处理器件的尺寸和能耗越来越小。作为在许多现代高技术发展领域不可 或缺的原子钟...
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