技术编号：5266949
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于MEMS的制备技术，具体涉及一种MEMS密封封装方法。 背景技术在微电子技术的基础上发展而来的微机电系统(以下简称MEMS)技术是一个新兴的多 学科交叉的高科技领域，相应的MEMS器件产品将在国民经济和国家安全等方面发挥越来越 重要的作用。对于MEMS微型器件，无论结构尺寸还是气隙都非常小，通常在微米量级，此 时即便是环境中普通的水分、灰尘等微小颗粒对MEMS器件都可能是致命的，因此往往需要 密封封装，为其稳定的工作、高的可靠性、小的漂移以及抵...
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