技术编号：5264942
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于对准针状物的方法以及对准单元。背景技术 近来引人注意的碳纳米管，代表针状物，具有其中键合在平面中的构成石墨结构的sp2碳以纳米量级卷成圆柱体的结构。碳纳米管具有许多优良特性，并且因此已经用在各种应用中。特别地，由于它们可以是良导电的或半导电的电特性，碳纳米管经常用于电子材料。碳纳米管的一个应用是将它们用于MOS晶体管。图6是已知的MOS晶体管的示意图。为了制作MOS晶体管，在硅衬底10上方的SiO2膜上，多个碳纳米管104在同一方向上对准...
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