技术编号：5023833
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及不活泼气体的处理方法和精制方法以及气体处理 筒，更具体地说，涉及使含有难以除去的烃类杂质的不活泼气体 在加热的条件下与含金属镍和/或氧化镍的处理剂接触，高效容易 地除去难除烃类的处理方法，和进一 步使由上述处理所产生的容 易除去的杂质与吸气材料或吸附剂接触而除去的精制方法，以及 能够高效地实施这些方法的气体处理筒。背景技术在半导体工业中，氦气、氖气、氩气、氪气等稀有气体被频 繁使用，而这些气体要求具有极高的纯度。这些气体是空气中仅 含微量的稀有气...
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