技术编号:4624041
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种有机溶剂薄膜干燥装置本发明涉及半导体干燥装置,具体地说是一种有机溶剂薄膜干燥装置。集成电路制造工艺中的湿法蚀刻和清洗工艺后,对象工件表面往往会残留清洗液,这些残留液如无法及时去除,其中含有的杂质和液体会附着在工件表面,使得对象工件无法达到下道工序要求,进而影响制程的良率。所以需要一种高效的干燥装置进行及时的工件干燥。现有的马拉高尼干燥技术(即Marangoni Dryer)大多使用IPA蒸汽与清洗液混溶入工件表面的凹面,利用马拉高尼效应来进行干燥,然而...
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