技术编号:4593600
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用来制造半导体装置或者液晶显示装置的空间,尤其是涉及无尘室系统的结构,该系统在制造空间内可以改善在基本垂直的方向上气流的一致性。背景技术 随着尺寸的增加和分辨率的提高,已经促进了TFT-LCD技术及其应用的发展。目前,对于产品来讲,生产率的增长和低廉的价格是重要的因素。为了达到这一目的,需要制造商、相关材料工业和制造设备提供商之间的合作,以简化制造过程并且提高产量。可以把TFT-LCD板的制造过程分成下面几步,即TFT排列过程,用于形成转换装置以...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。