技术编号：4431549
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种包括流体腔室阵列的夹具系统。 背景技术毫微级加工涉及非常小结构的加工，例如，这种结构具有纳米或更小量级 的特征。毫微级加工具有相当影响的一个领域是集成电路的加工制造。随着半 导体加工工业不断地追求提高产量同时提高形成在基底上的每单位面积的电 路，毫微级加工变得越来越重要。毫微级加工提供较大的过程控制，同时允许 不断地降低所形成结构的最小特征尺寸。已经采用毫微级加工的其它发展的领 域包括生物技术、光学技术、机械系统等。示例性毫微级加工技术通常称...
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