技术编号：3545736
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及超高纯试剂提纯技术，具体涉及一种超高纯无水乙醇的提纯装置。背景技术超高纯试剂是电子领域微细加工制作中不可缺少的关键性基础化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蚀刻。超高纯无水乙醇为有机溶剂，主要用于半导体行业紫外负性光刻胶的漂洗工艺，可与负胶显影液配套使用。随着电子领域技术的不断发展，对电子化学品的纯度要求也日益提高。目前普遍采用的乙醇提纯方法为工业乙醇经高锰酸钾和氢氧化钠预处理后直接精馏，所使用的装置主要包括精馏塔和微滤器，上述方法的纯度不高，...
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