技术编号：3452748
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，包括将工业硅熔融后从反应坩埚顶部喷洒而下，将混合气体从下往上输送与熔融的工业硅接触反应，同时将反应后的气体及时抽去；所述混合气体由载气和氧化性气体组成，所述氧化性气体为氢气、水蒸气和氧气中的一种或多种。本发明改变传统直接将氧化性气体通入硅液的方法，而是将硅液通过喷洒自由落下，而氧化性气体从底部向上输送，两者在中间位置接触反应，增加接触面积，提高了硼等非挥发性元素的去除效率。专利说明—种去除多晶硅中硼的方法[0001]本发明涉及多晶硅提纯，尤其...
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